電子顕微鏡的評価の英語

本発明は、電子顕微鏡の解像力を適正に評価する電子顕微鏡画像評価装置、及び電子顕微鏡の提供を目的とする。例文帳に追加

To provide an electron microscope evaluation apparatus for properly evaluating the resolution of an electron microscope, and to provide an electron microscope. - 特許庁

３次元構造を持つ電子デバイス構造等を全体的且つ高精度に評価しうる立体観察方法及び電子顕微鏡を提供する。例文帳に追加

To provide a solid observation method and an electron microscope capable of totally and accurately evaluating an electronic device structure or the like with a three-dimensional structure. - 特許庁

走査型電子顕微鏡において性能評価を比較的簡単かつ合目的的に行うことで管理・保守を容易にする。例文帳に追加

To facilitate management/maintenance of a scanning electron microscope by carrying out performance evaluation in a comparatively simple and purposive way. - 特許庁

予め寸法の分かっている薄膜層の断面を鏡面加工し、走査形電子顕微鏡像の画像データを取得後、周波数解析等の手段を用いて、走査形電子顕微鏡の性能評価を安定かつ定量的に行う。例文帳に追加

A cross section of a thin film layer of which the dimensions are previously known is processed into a mirror finished surface, image data of a scanning electron microscope image is obtained, and thereafter the performance evaluation of the scanning electron microscope is stably and quantitatively executed by using a means such as a frequency analysis or the like. - 特許庁

本発明は、走査電子顕微鏡等の寸法測定装置を用いて、半導体デバイスのパターンのラフネスを評価する際に要する相関距離や分散といったようなパラメータを、正確に決定することが可能な寸法解析プログラム、寸法計測装置の提供を目的とする。例文帳に追加

To provide a size analysis program accurately determining parameters such as a correlation distance and variance required to evaluate the roughness of a pattern of a semiconductor device by using a size measurement apparatus such as a scanning electron microscope or the like, and a size measurement apparatus. - 特許庁

本発明は、電子顕微鏡内で熱電効果を発生させ、それに伴う発生磁場を可視化することにより、ナノレベルの熱電材料組織と熱電特性を同時に評価できる装置およびそれを用いた熱電材料を観察する方法の提供を目的とする。例文帳に追加

To provide a device capable of evaluating nano-level thermoelectric material tissues and thermoelectric characteristics at the same time, a method of observing a thermoelectric material using the same, by generating a thermoelectric effect in an electron microscope, and visualizing an ensuing magnetic field. - 特許庁