AFm phaseとは 意味・読み方・使い方

PHASE FEEDBACK AFM AND CONTROL METHOD THEREFOR例文帳に追加

位相フィードバックＡＦＭの制御方法及び位相フィードバックＡＦＭ - 特許庁

To provide a control method of a phase feedback AFM and a phase feedback AFM, such that the real surface shape of an obtained uneven image is indicated.例文帳に追加

本発明は、得られる凹凸像が真の表面形状を示すような位相フィードバックＡＦＭの制御方法及び位相フィードバックＡＦＭを提供することを目的としている。 - 特許庁

To provide a method to easily measure phase difference by using a scanning atomic force microscope(AFM) without peeling a resist 1 during manufacturing a Levenson type phase shift mask, and to provide a method for manufacturing phase shift mask such that the manufacture process of a Levenson phase shift mask can be significantly reduced by using the above method for measuring the phase difference.例文帳に追加

レベンソン位相シフトマスクの製造途中にレジスト１を剥離せずに、走査型原子間力顕微鏡(AFM)を用いて簡便に位相差を測定する方法を提供し、この位相差測定方法を用いてレベンソン位相シフトマスクの製造プロセスを大幅に短縮することが可能になる位相シフトマスク製造方法を提供する。 - 特許庁

Thereby the phase difference of the phase shifting part is measured by the level difference measuring instrument such as an AFM and the phase difference is calculated while considering damage applied to a light shielding film when forming the phase shifting part.例文帳に追加

したがって、その位相シフト部の位相差をＡＦＭ等の段差測定器で測定し、また、この位相シフト部を形成する際の遮光膜が受けたダメージも考慮して位相差を算出する。 - 特許庁

In this method, a micro phase separation structure film is irradiated with normal-pressure plasma, and the film is etched up to a part allowing confirmation of the micro phase separation structure, and then the surface is observed by an atomic force microscope (AFM), to thereby confirm the micro phase separation structure.例文帳に追加

ミクロ相分離構造膜に、常圧プラズマを照射し、ミクロ相分離構造が確認可能な部分まで膜をエッチングした後、表面を原子力間顕微鏡（ＡＦＭ）で観察することによりミクロ相分離構造を確認する方法である。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a halftone phase shift mask by which no correction scum of a residual defect is left when the residual defect of a halftone phase shift mask is removed by using an AFM (atomic force microscope) correcting device.例文帳に追加

ハーフトーン型位相シフトマスクの残留欠陥をＡＦＭ型修正機を用いて除去する際、残留欠陥の修正カスを残さないハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法を提供することを目的とする。 - 特許庁