Drieとは 意味・読み方・使い方

The small hole 13 is formed by a DRIE method.例文帳に追加

細孔１３を、ＤＲＩＥ法で形成する。 - 特許庁

The pore 13 is formed by a DRIE method.例文帳に追加

細孔１３を、ＤＲＩＥ法で形成する。 - 特許庁

An etching groove 111a is formed on a silicon substrate 16 by DRIE.例文帳に追加

シリコン基板１６にＤＲＩＥによりエッチング溝１１１ａを形成する。 - 特許庁

The enlarged parts are formed by overetching by a DRIE method.例文帳に追加

このような部分は、ＤＲＩＥ法におけるオーバーエッチングにより形成できる。 - 特許庁

Plural intervals are plural pits obtained by etching an Si substrate with aid of DRIE etching treatment.例文帳に追加

上記複数の間隔は、ＤＲＩＥエッチング処理の補助によってＳｉ基板をエッチングすることによって得られた複数のピットである。 - 特許庁

The masks 53 are made of material with resistance to the DRIE, for example, photoresist, alumina, etc.例文帳に追加

マスク５３はＤＲＩＥに抵抗性のある材料であり、たとえばフォトレジストとかアルミナなどである。 - 特許庁

When ions are applied to a wafer 52 with the face of the wafer directed almost perpendicularly to perform DRIE, individual sliders having the sacrifice extension 32 is cut out in the form of a mask.例文帳に追加

ウエハー５２に対しウエハーの面にほぼ垂直に向けてイオンを当ててＤＲＩＥを行う場合は、犠牲エクステンション３２を持つ個々のスライダーはマスクの形で切り出される。 - 特許庁