Etching gasとは 意味・読み方・使い方

DRY ETCHING EXHAUST GAS TREATMENT APPARATUS例文帳に追加

ドライエッチング排ガス処理装置 - 特許庁

It is preferable that the second etching gas contains the gas for which the etching gas is diluted by the Ar gas.例文帳に追加

第２エッチングガスは、エッチングガスをＡｒガスで希釈したガスを含むことが好ましい。 - 特許庁

A mixed gas of Cl_2 gas with O_2 gas is used as the etching gas.例文帳に追加

エッチングガスには、Ｃｌ_2ガスおよびＯ_2ガスを含む混合ガスを用いる。 - 特許庁

It is preferable that the first etching gas contains the gas for which an etching gas is diluted by the Xe gas or the gas mixture of the Xe gas and an Ar gas.例文帳に追加

第１エッチングガスは、エッチングガスをＸｅガス又はＸｅガスとＡｒガスとの混合ガスで希釈したガスを含むことが好ましい。 - 特許庁

As the etching gas, halogen-based gas is used.例文帳に追加

また、エッチングガスとして、ハロゲン系ガスを用いる。 - 特許庁

GAS INJECTOR AND ETCHING APPARATUS PROVIDED WITH THE GAS INJECTOR例文帳に追加

ガスインジェクタおよびこれを有するエッチング装置 - 特許庁

ETCHING GAS FLOW CONTROLLER AND CONTROL METHOD OF LOCAL DRY ETCHING DEVICE例文帳に追加

局所ドライエッチング装置のエッチングガス流制御装置及び方法 - 特許庁

In this method of dry etching, CH2F2 is used as an etching gas at the time of dry etching.例文帳に追加

ドライエッチング時に、エッチングガスとしてCH_2F_2を用いることを特徴としている。 - 特許庁