HMDsとは 意味・読み方・使い方

Vaporized HMDS 15 is sent into the chamber 10 by pressure by the nitrogen gas.例文帳に追加

この窒素ガスによって、気化したＨＭＤＳ１５はチャンバ１０内に圧送される。 - 特許庁

A light irradiation portion 160 which irradiates HMDS on the wafer W with light to bring the HMDS into contact with the surface of the wafer W is provided obliquely above the placing table 120.例文帳に追加

載置台１２０の斜め上方には、ウェハＷのＨＭＤＳに光を照射して、ウェハＷの表面にＨＭＤＳを密着させる光照射部１６０が設けられている。 - 特許庁

The generated HMDS gas is delivered to a substrate processor with nitrogen gas as carrier gas.例文帳に追加

生成されたＨＭＤＳガスは、キャリアガスである窒素ガスとともに、基板処理装置へ送られる。 - 特許庁

This HMDS liquid integrated into mist is quickly vaporized since an area to be brought into contact with gas is increased as a whole, and HMDS gas with high concentration is efficiently generated in the reservoir tank 31.例文帳に追加

ミスト化されたＨＭＤＳ液は、全体として気体に触れる面積が広くなるため迅速に気化され、貯留タンク３１内において高濃度のＨＭＤＳガスが効率よく生成される。 - 特許庁

To provide a method and an apparatus for HMDS processing which can reduce photoresist peeling.例文帳に追加

フォトレジスト剥がれを低減できるＨＭＤＳ処理方法およびＨＭＤＳ処理装置を提供する。 - 特許庁

Then, HMDS is applied and a photoresist 6 is subjected to spin coating at a film thickness of about 2.4 μm.例文帳に追加

次に、ＨＭＤＳの塗布を行い、続いてフォトレジスト６を約２．４μｍの膜厚でスピンコーティングする。 - 特許庁

The evaporated HMDS gas can thereby be supplied to a processing chamber while being mixed easily with nitrogen gas.例文帳に追加

このため、気化したＨＭＤＳガスを容易に窒素ガスと混合し、処理室へ供給することができる。 - 特許庁

Then surface treatment using HMDS (HexaMethylDiSilazane) and thiol compound is performed and then the whole surface is exposed.例文帳に追加

その後、ＨＭＤＳおよびチオール化合物を用いた表面処理が行われ、全面が露光される。 - 特許庁