LAMUとは 意味・読み方・使い方

Displacement in alignment of positions to form patterns is inspected with the single measurement and analysis of contrast curves CX2, CY2 by the combination of a set of LAMU mark LA1, LC and LE by forming the LAMU mark LC to a region surrounding the LAMU mark LA1 and forming the LAMU mark LE to a region surrounding the LAMU mark LC.例文帳に追加

ＬＡＭＵマークＬＡ１を取り囲む領域にＬＡＭＵマークＬＣを形成し、ＬＡＭＵマークＬＣを取り囲む領域にＬＡＭＵマークＬＥを形成し、１組のＬＡＭＵマークＬＡ１、ＬＣ、ＬＥの組み合わせを用いてコントラスト曲線ＣＸ２、ＣＹ２の１回の測定および解析によってパターン間の形成位置の合わせずれを検査する。 - 特許庁

To reduce the measuring time for measuring the amount of displacement between a plurality of layers of patterns formed on a semiconductor wafer using LAMU marks.例文帳に追加

半導体ウェハ上に形成された複数層のパターン間の合わせずれ量をＬＡＭＵマークを用いて測定する場合において、その測定時間を短縮化する。 - 特許庁