PLASMA ACCELERATORとは 意味・読み方・使い方

an accelerator in which high-energy ions escape from plasma following charge exchange発音を聞く 例文帳に追加

電荷交換後に高エネルギーイオンがプラズマから離脱する加速器 - 日本語WordNet

To provide a plasma accelerator which can not only efficiently accelerate travelling speed of a plasma beam but is easy to produce and compose, and a plasma processing system equipped with the plasma accelerator.例文帳に追加

プラズマビームの移動速度を効率よく高められるのみならず、作製及び構成が簡単なプラズマ加速装置及び該装置を備えるプラズマ処理システムを提供する。 - 特許庁

MICROWAVE ION SOURCE, LINEAR ACCELERATOR SYSTEM, ACCELERATOR SYSTEM, ACCELERATOR SYSTEM FOR MEDICAL USE, HIGH ENERGY BEAM APPLICATION SYSTEM, NEUTRON GENERATING DEVICE, ION BEAM PROCESSING DEVICE, MICROWAVE PLASMA SOURCE, AND PLASMA PROCESSING DEVICE例文帳に追加

マイクロ波イオン源、線形加速器システム、加速器システム、医療用加速器システム、高エネルギービーム応用装置、中性子発生装置、イオンビームプロセス装置、マイクロ波プラズマ源及びプラズマプロセス装置 - 特許庁

The plasma accelerator comprises a channel having an exit releasing one end, a gas supplier which supplies gas into the channel, a plasma generator which supplies ionization energy to the gas in the channel to generate a plasma beam, and a plasma accelerator composed of a plurality of grids arranged in the lateral direction at set intervals in the channel to accelerate the generated plasma beam toward the exit with an electric field.例文帳に追加

プラズマ加速装置は、一端部を開放する出口を有するチャンネルと、チャンネル内にガスを供給するガス供給部と、チャンネル内のガスにイオン化エネルギーを供給してプラズマビームを生成するプラズマ生成部、チャンネル内に所定の間隔を隔てて横方向に配置され、生成されたプラズマビームを電場によって出口に向かって加速する複数の格子からなるプラズマ加速部とを含む。 - 特許庁

To provide an electromagnetic induction accelerator, capable of improving both the capabilities of the formation/acceleration of plasma by optimizing drive frequency in the formation and the acceleration of plasma.例文帳に追加

プラズマの生成と加速とのそれぞれで駆動周波数を最適化することで、プラズマの生成／加速の両能力の向上が図れる電磁誘導加速装置、を提供する。 - 特許庁

A plasma generating target 12 generating plasmas by irradiating a laser L for plasma generation, a vacuum container 16 pulling out ions from the plasmas generated from the plasma generating target 12, directly attached to an ton entrance 38 of an ion linear accelerator 30 and the ion linear accelerator 30 are connected in series, ions are made to come directly into the ion linear accelerator 30 using a dispersion speed of the plasmas.例文帳に追加

プラズマ発生用レーザーＬを照射してプラズマを発生させるプラズマ発生ターゲット１２と、プラズマ発生ターゲット１２から発生したプラズマよりイオンを引き出すとともに、イオン線形加速器３０のイオン入射口３８に、直接、取り付けられる真空容器１６と、イオン線形加速器３０とが直列に接続され、プラズマの拡散速度を利用して、イオン線形加速器３０に、直接、イオンを入射するように構成した。 - 特許庁

To provide a microwave ion source or a plasma source stabilizing beam current without precise magnetic field adjustment by reducing change of plasma density caused by change of strength of magnet field in axial direction or ion beam current, and to provide an application device utilizing the above devices such as a linear accelerator system, an accelerator system for medical use, or the like.例文帳に追加

軸方向磁場の強度変化によるプラズマ密度或いはイオンビーム電流の変化を低減し、精密な磁場調整なしでビーム電流を安定化するマイクロ波イオン源或いはプラズマ源と、それを利用した線形加速器システム、医療用加速器システム等の機器等の応用装置を提供する。 - 特許庁

To provide an electromagnetic induction accelerator capable of easily adjusting the velocity of plasma ion and excellent in anisotropy, selectivity, film homogeneity and process reproducibility, and usable for an etching process.例文帳に追加

プラズマイオンの速度を容易に調節でき、異方性、選択性、膜均質度及び工程再現性に優れるエッチング工程に利用可能な電磁気誘導加速器を提供する。 - 特許庁