Pattern Position Accuracyとは 意味・読み方・使い方

To accurately measure position accuracy of an optional part where high position accuracy is requested in a device pattern of a reticule.例文帳に追加

レチクルのデバイスパターンにおいて高い位置精度が要求された任意の部分の位置精度を正確に測定できるようにする。 - 特許庁

To provide a pattern position detector and a pattern position detecting method for rapidly detecting the position of a predetermined pattern included in a two-dimensional code or the like while improving accuracy in detecting the pattern position.例文帳に追加

２次元コードなどに含まれる所定パターンの位置の検出精度を向上させつつ、高速に当該位置を検出することができるパターン位置検出装置及びパターン位置検出方法を提供する。 - 特許庁

To perform efficient positioning while preventing reduction in accuracy when adjusting the position of a pattern, which is caused by blur and position variation of pattern images.例文帳に追加

パターン画像のぼやけや位置ばらつきを原因とするパターンの位置調整の精度低下を防止しつつ効率な位置決めを可能とする。 - 特許庁

To improve detection accuracy in a position of a recognition mark having a minute pattern shape.例文帳に追加

微細なパターン状を有する認識マークの位置の検出精度を向上する。 - 特許庁

To obtain a position of a measurement border line of a circuit pattern of a semiconductor device with high accuracy.例文帳に追加

半導体デバイスの回路パターンの測長輪郭線の位置を高精度に求める。 - 特許庁

To improve positioning accuracy of an exposure pattern by controlling an exposure position in an analog manner.例文帳に追加

露光位置をアナログ的に制御して露光パターンの位置決め精度を向上する。 - 特許庁

To accurately detect a focal position by a simple configuration and to form a pattern of high accuracy.例文帳に追加

簡易な構成によって正確に焦点位置を検出し、高精度のパターンを形成する。 - 特許庁

To provide a technique capable of controlling a drawing position of a pattern in relation to an object with high accuracy.例文帳に追加

対象物に対するパターンの描画位置を高い精度でコントロールできる技術を提供する。 - 特許庁