Sensitivity of Resistとは 意味・読み方・使い方

Then, the sensitivity of the resist applied to the semiconductor wafer is determined based on the identified resist type information.例文帳に追加

次に、識別されたレジスト種類情報に基づいて、半導体ウェハに塗布されたレジストの感度が判定される。 - 特許庁

To provide a positive resist composition which is excellent in the various characteristics of a resist such as sensitivity and resolution and which can suppress production of foreign matter and standing waves on the surface of a resist pattern.例文帳に追加

感度、解像力などのレジスト諸特性に優れ、レジストパターン表面上の異物の発生及び定在波を抑制可能なポジ型レジスト組成物を提供すること。 - 特許庁

To provide positive and negative chemically amplified resist compositions, having high sensitivity and giving a resist pattern of superior shape.例文帳に追加

高感度を有し、かつ優れた形状のレジストパターンを与えるポジ型及びネガ型の化学増幅型レジスト組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a resist composition having practical sensitivity and capable of forming a minute negative type resist pattern free from swelling.例文帳に追加

実用可能な感度を有していて、膨潤のない微細なネガ型レジストパターンを形成できるレジスト組成物を提供すること。 - 特許庁

To provide a pattern forming method for correcting a dimension variation amount due to unevenness of sensitivity of resist.例文帳に追加

レジスト感度むら等によって生じる寸法変動量を補正したパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide a resist composition for improving sensitivity of a resist without deteriorating the resolution thereof, and to provide a method for manufacturing a semiconductor device using the resist composition.例文帳に追加

レジストの解像度を損うことなく、レジストの感度を向上させることができるレジスト組成物及び該レジスト組成物を用いた半導体装置の製造方法の提供。 - 特許庁

Additionally, the resist film 12 having lower exposure sensitivity near the interface to the semiconductor substrate than that of other sections, such as an image-reversible positive resist, is adopted as the resist film 12.例文帳に追加

また、レジスト膜１２として、半導体基板との界面近傍の露光感度が他の部分よりも低いもの（例えばイメージリバーサル可能なポジレジスト）を採用する。 - 特許庁

To provide a photosensitive resin composition that remarkably improves sensitivity and resolution of a resist.例文帳に追加

レジストの感度や解像度を著しく向上できる感光性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁