TETRAFLUOROMETHANEとは 意味・読み方・使い方

METHOD FOR PURIFYING TETRAFLUOROMETHANE AND USE THEREOF例文帳に追加

テトラフルオロメタンの精製方法及びその用途 - 特許庁

To provide a method for purifying tetrafluoromethane by contacting the tetrafluoromethane containing impurities with an adsorbent to adsorb the impurities, by which the highly pure tetrafluoromethane can economically and profitably be obtained.例文帳に追加

不純物を含有するテトラフルオロメタンを吸着剤と接触させて不純物を吸着除去し、高純度テトラフルオロメタンを経済的かつ工業的に有利に得ることができる精製方法。 - 特許庁

The fouorinated methane is selected from tetrafluoromethane, trifluoromethane, difluoromethane, and fluoromethane.例文帳に追加

更にフッ素化メタンがテトラフルオロメタン、トリフルオロメタン、ジフルオロメタン、フルオロメタンの中から選ばれる半導体装置の製造方法である。 - 特許庁

This method for purifying the tetrafluoromethane, characterized by bringing the tetrafluoromethane containing ethylene compounds, hydrocarbon compounds, carbon monoxide and/or carbon dioxide into contact with a zeolite having an average fine pore diameter of 3.4 Å to 11 Å and/or a carboneceous adsorbent having an average fine pore diameter of 3.4 Å to 11 Å.例文帳に追加

エチレン化合物類、炭化水素化合物類、一酸化炭素及び／または二酸化炭素を含有するテトラフルオロメタンを、平均細孔径が３．４Å〜１１Åであるゼオライト及び／または平均細孔径が３．４Å〜１１Åである炭素質吸着剤と接触させる。 - 特許庁

The decomposed gas is removed by introducing a new gas, for example, argon, neon, helium, nitrogen and the like which does not react with silicon carbide and the decomposed gas and/or a gas to accelerate silicon carbide decomposition such as carbon monoxide, carbon dioxide, tetrafluoromethane, steam and the like.例文帳に追加

上記分解ガスは、新たなガス、例えば、炭化珪素及び上記分解ガスと反応しないガス（アルゴン、ネオン、ヘリウム、窒素等）、及び／又は炭化珪素の分解を促進するガス（一酸化炭素、二酸化炭素、テトラフルオロメタン、水蒸気等）を導入することによって除去する。 - 特許庁

The electrophotographic photoreceptor is obtained by disposing a photosensitive layer, including an organic photosensitive layer on a conductive substrate, wherein the outermost surface of the photosensitive layer is surface-treated with a plasma of gas, containing tetrafluoromethane and nitrogen, or nitrogen and a rare gases.例文帳に追加

導電性基体上に有機感光層を含む感光層を設けた電子写真感光体であって、前記感光層の最表面が、テトラフルオロメタンと、窒素または窒素及び希ガスと、を含む気体のプラズマにより、表面処理されてなる電子写真感光体である。 - 特許庁