VLSI devicesとは 意味・読み方・使い方

Semiconductor devices are manufactured by using the aqueous dispersion as a polishing agent and polishing films to be processed such as silicon oxide films and aluminum films disposed on substrates of the semiconductor devices including VLSI.例文帳に追加

更に、これらの水系分散体を研磨剤として用い、超ＬＳＩ等の半導体装置の基板上に設けられるシリコン酸化膜、アルミニウム膜等の被加工膜を研磨し、半導体装置を製造する。 - 特許庁

Methods for producing air-gap-containing metal-insulator interconnect structures for VLSI and ULSI devices using a photo-patternable low k material as well as the air gap-containing metal-insulator interconnect structure that is formed are disclosed.例文帳に追加

ＶＬＳＩ及びＵＬＳＩ用の空隙含有金属・絶縁体相互接続構造体を、光パターン化可能低ｋ材料を用いて作成する方法、及び形成した空隙含有金属・絶縁体相互接続構造体を開示する。 - 特許庁

To provide a heat transmission body capable of efficiently guiding heat generated by an electronic device to a radiator by being interposed between the radiator and various kinds of electronic devices using a semiconductor element, a heater element, a light emitting element such as a diode, a transistor, an IC, CPU, MPU, LSI, VLSI, ULSI.例文帳に追加

ダイオードやトランジスター、ＩＣ、ＣＰＵ、ＭＰＵ、ＬＳＩ、ＶＬＳＩ、ＵＬＳＩ等の半導体素子や発熱素子や発光素子等が用いられた各種電子デバイスと放熱体との間に介在させることにより、電子デバイスが発する熱を高効率で放熱体に誘導することができる熱伝達体を提供すること。 - 特許庁

To provide a core-shell type hyper branched polymer suitable for nano fabrication consisting mainly of photolithography, especially for electron beams, EUV lithography, and improved in adhesiveness, sensitivity, and surface smoothness, and to provide a resist composition which contains the core-shell type hyper branched polymer as a base polymer, and can form fine patterns for producing semiconductor devices such as VLSI.例文帳に追加

光リソグラフィを中心としたナノファブリケーション、特に電子線、ＥＵＶリソグラフィに好適な、密着性、感度、及び表面平滑性を向上させたコアシェル型ハイパーブランチポリマーを得ること、及び、当該ハイパーブランチポリマーをベースポリマーとして含み、超ＬＳＩ等の半導体装置製造用の微細パターンを形成することが可能なレジスト組成物を提供する。 - 特許庁