Vacuum tableとは 意味・読み方・使い方

ELECTROSTATIC ATTRACTION TABLE AND WORK TREATMENT METHOD OF VACUUM TREATMENT EQUIPMENT例文帳に追加

真空処理装置の静電吸着テーブルおよびワーク処理方法 - 特許庁

A disk D is set on a table 1 of a holding pedestal X and is fixed thereto with a vacuum chuck by a vacuum hole 3.例文帳に追加

ディスクＤを、保持台Ｘのテーブル１にセットして、バキューム孔３による真空チャックで固定する。 - 特許庁

TABLE FOR VACUUM APPLICATION GUIDED BY MEANS OF AEROSTATICS BEARING ELEMENT例文帳に追加

真空利用のための、気体静力学ベアリングエレメントによってガイドされるテーブル - 特許庁

To separate a semiconductor wafer electrostatically attracted on a wafer mounting table in a vacuum vessel from the mounting table, without causing positional deviation of the wafer from the mounting table due to the flipping wafer.例文帳に追加

真空容器内のウエハ載置台に静電吸着された半導体ウエハを、跳ねによる位置ずれを起こすことなく脱離する。 - 特許庁

The substrate holder comprises a silicon wafer 1, a chuck table 2, a vacuum chuck 3, a vacuum pump 4, vacuum paths 51 and 52, and valves 61, 62, 63, and 64.例文帳に追加

本発明に係る基板保持装置は、シリコンウエハ１、チャック台２、真空チャック３、真空ポンプ４、真空経路５１、５２、バルブ６１、６２、６３、６４を備えている。 - 特許庁

To improve workability in maintenance of a vacuum precision positioning device provided with a linear motion table device in a vacuum chamber.例文帳に追加

真空チャンバ内に直動テーブル装置を設置した真空精密位置決め装置のメンテナンスの作業性を改善する。 - 特許庁

This vacuum suction system is provided with the workpiece conveyance table 2 having the workpiece storage hole 5 and a table base 3 having a vacuum suction channel 7 communicating with the workpiece storage hole 5 of the workpiece conveyance table 2.例文帳に追加

真空吸引システムはワーク収納孔５を有するワーク搬送テーブル２と、ワーク搬送テーブル２のワーク収納孔５に連通する真空吸引溝７を有するテーブルベース３とを備えている。 - 特許庁

This table device for vacuum application has a movable table guided by an aerostatic bearing unit and a base plate.例文帳に追加

真空適用のためのテーブル装置は空気静力学的軸受ユニットによりガイドされた移動テーブルとベースプレートを有する。 - 特許庁