adaptive manual controlとは 意味・読み方・使い方

To provide a system that controls a high-precision motion such as a stepping and scanning operation of a lithography projection apparatus, i.e., a flexible control system that combines lower feed-forward control and iterative learning control with no need of manual adjustment while being simple, plus being adaptive to a slow change of a motion system.例文帳に追加

リソグラフィ投影装置の歩進および走査作業のような、高精密運動を制御するシステムで、低次フィードフォワード制御と反復学習制御を組合せ、単純でありながら手動調整の必要がなく、運動システムの遅い変動にも対応できる柔軟な制御システムを提供すること。 - 特許庁

Since the subject to be controlled is converged to a desired characteristic by use of the adaptive control even in a change in part characteristic by part change or the like, the change of software by manual work can be reduced to save the labor for complicated updating or correcting work of a system.例文帳に追加

部品の変更などによる部品特性の変化に際しても適応制御を用いて制御対象を所望の特性に収束させるため、手作業によるソフトウェアの変更が減少し、複雑なシステムの更新や修正の作業の省力化が図れる。 - 特許庁