amidinateとは 意味・読み方・使い方

ATOMIC LAYER DEPOSITION USING METAL AMIDINATE例文帳に追加

金属アミジナートを用いる原子層の析出 - 特許庁

A CDV-Cu film is deposited onto monovalent copper amidinate as a film deposition raw material at a low temperature and also at a practical film deposition rate, using carboxylic acid having high reduction capacity to monovalent copper amidinate as a reducing agent.例文帳に追加

成膜原料である１価のアミジネート銅に対し、還元剤として１価のアミジネート銅に対する還元能力が高いカルボン酸を用い、低温でかつ実用的な成膜レートでＣＶＤ−Ｃｕ膜を成膜する。 - 特許庁

To provide a film deposition system where, using cobalt amidinate or nickel amidinate as film deposition raw material so as to form a Co film or an Ni film of high film quality in which surface conditions are satisfactory and impurities in the film hardly remains at a low temperature.例文帳に追加

成膜原料としてコバルトアミジネートまたはニッケルアミジネートを用いて、低温でかつ表面状態および膜中不純物が残存しにくい、膜質の良好なＣｏ膜、Ｎｉ膜を成膜することができる成膜方法を提供する。 - 特許庁

A substrate W is stored inside a treatment vessel 1, film deposition raw material comprising cobalt amidinate or nickel amidinate and a reducing agent comprising carboxylic acid are introduced in a gaseous phase state into the treatment vessel state so as to deposit a Co film or an Ni film on the substrate.例文帳に追加

処理容器１内に基板Ｗを収容し、処理容器内にコバルトアミジネートまたはニッケルアミジネートを含む成膜原料とカルボン酸を含む還元剤とを気相状態で導入して、基板上にＣｏ膜またはＮｉ膜を成膜する。 - 特許庁

The method of preparing an ultra-pure metal amidinate compound includes using a microchannel device for synthesis in reacting a metal halide solution with a lithium amidinate solution to produce an ultra-pure alkylmetal compound for processes such as chemical vapor deposition.例文帳に追加

金属ハロゲン化物溶液とリチウムアミジナート溶液との反応における合成のためにマイクロチャネルデバイスを使用して、化学蒸着のようなプロセスのための超純粋アルキル金属化合物を製造することを含む、超純粋金属アミジナート化合物を製造する方法。 - 特許庁

Further described is the use of [{nBuC(iPrN)_2}_2Ge] or Ge butyl amidinate to form GeTe smooth amorphous films for phase change memory applications.例文帳に追加

さらに、相変化型メモリー用途用のＧｅＴｅ平滑非晶質膜を形成するための、［｛ｎＢｕＣ（ｉＰｒＮ）_2｝_2Ｇｅ］又はＧｅブチルアミジネートの使用が記載されている。 - 特許庁

Ruthenium-containing precursors for ruthenium-containing films deposition comprises a ruthenium precursor selected from the group consisting mainly of: Ru(XOp)(XCp), Ru(XOp)_2, Ru(allyl)_3, RuX(allyl)_2, RuX_2(allyl)_2, Ru(CO)_x(amidinate)_y, Ru(diketonate)_2(amidinate)_2, their derivatives and any mixture thereof.例文帳に追加

Ｒｕ（ＸＯｐ）（ＸＣｐ）、Ｒｕ（ＸＯｐ）_2、Ｒｕ（アリル）_3、ＲｕＸ（アリル）_2、ＲｕＸ_2（アリル）_2、Ｒｕ（ＣＯ）_x（アミジネイト）_y、Ｒｕ（ジケトネイト）_2（アミジネイト）_2、それらの誘導体およびそれらの混合物から実質的になる群から選ばれるルテニウム前駆体を含むルテニウム含有フィルム堆積用ルテニウム含有前駆体。 - 特許庁