chemo-mechanicalとは 意味・読み方・使い方

CHEMO-MECHANICAL POLISHING METHOD OF WAFER例文帳に追加

ウエハの化学機械研磨方法 - 特許庁

AQUEOUS DISPERSION FOR CHEMO-MECHANICAL POLISHING AND MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND CHEMO-MECHANICAL POLISHING METHOD例文帳に追加

化学機械研磨用水系分散体およびその製造方法、ならびに化学機械研磨方法 - 特許庁

CHEMO-MECHANICAL POLISHING TOOL FOR SUBSTRATE, AND ITS MOLDING METHOD例文帳に追加

基板用化学機械研磨加工具およびその成形方法 - 特許庁

DUMMY TREATMENT METHOD FOR CHEMO-MECHANICAL POLISHING EQUIPMENT, AND POLISHING PAD CONDITIONING METHOD例文帳に追加

化学機械研磨装置用ダミー処理方法及び研磨パッドコンディショニング方法 - 特許庁

To provide a dummy process suitable for chemo-mechanical polishing (CMP) and a polishing pad conditioning method.例文帳に追加

化学機械研磨（ＣＭＰ）に適したダミープロセス及び研磨パッドコンディショニング方法を提供する。 - 特許庁

A carrier head for a chemo-mechanical polishing device has a plural number of rods free to independently move.例文帳に追加

化学機械研磨装置用のキャリアヘッドは、複数の独立して移動可能なロッドを有する。 - 特許庁

To provide a method for producing a pure metal compound film which hardly causes a copper film etc. to be peeled off during chemo-mechanical polishing.例文帳に追加

化学機械的研磨中に銅膜などが剥離し難い純粋な金属化合物膜を製造する方法を提供する。 - 特許庁