cup chuckとは 意味・読み方・使い方

A spin chuck 40 which sucks and holds an LCD substrate G is rotated synchronously with a rotary cup 41.例文帳に追加

ＬＣＤ基板Ｇを吸着保持するスピンチャック４０と回転カップ４１は，同期して回転する。 - 特許庁

Mist and particles can be prevented from flowing out of the outer cup from between the outer cup and a base body as air in the exhaust space flows around to the lower edge of the outer cup when a spin chuck is rotating.例文帳に追加

スピンチャックが回転しているときに前記排気空間の気体が外カップの下縁部に回り込んでベース体との間から外カップの外にミストやパーティクルが流出することが抑えられる。 - 特許庁

A drain cup 13 is arranged along the wafer chuck section of the support stand 11 and the outer periphery of the wafer WF.例文帳に追加

支持台１１のウェハチャック部分及びウェハＷＦの外周に沿うようにドレーンカップ１３が配設されている。 - 特許庁

In a developer 16, a cup 57 for housing a wafer W, a spin chuck 62 for holding the wafer W, and a motor 63 for rotating the chuck 62 are provided.例文帳に追加

現像処理装置１６内に，ウェハＷを収容するカップ５７と，ウェハＷを保持するスピンチャック６２と，スピンチャック６２を回転させるモータ６３とを備える。 - 特許庁

On the bottom face of a processing cup 5 containing a spin chuck 1, four tubular partition walls 5A, 5B, 5C and 5D are stood while surrounding the spin chuck 1.例文帳に追加

スピンチャック１を収容した処理カップ５の底面には、４つの円筒状仕切壁５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄがスピンチャック１の周囲を取り囲んで立設されている。 - 特許庁

This processor 62 is composed fundamentally of a cup 64 which functions as a processing container, a spin chuck mechanism 66 which is provided within this cup 64, and a washing mechanism (not shown in the figure) which is provided capably of getting in and out of the cup 64.例文帳に追加

この処理装置６２は、基本的には、処理容器として機能するカップ６４と、このカップ６４の内側に設けられたスピンチャック機構６６と、カップ６４に出入り可能に設けられた洗浄機構（図示せず）とで構成されている。 - 特許庁

A metallic drain cup 13 is provided along the wafer chuck part of the support rest 11 and the outer periphery of the wafer WF.例文帳に追加

支持台１１のウェハチャック部分及びウェハＷＦの外周に沿うように金属製のドレーンカップ１３が配設されている。 - 特許庁

This substrate processing apparatus 1 is provided with a wafer chuck 2 which holds and rotates a wafer W, a cup 3 which holds the wafer chuck 2, and a chemical supply nozzle 4 which is positioned above the wafer chuck 2 and supplies chemical to the wafer W.例文帳に追加

本発明の基板処理装置１は、ウェーハＷを保持して回転させるウェーハチャック２と、ウェーハチャック２を収容するカップ３と、ウェーハチャック２の上方にあってウェーハＷに薬液を供給する薬液供給ノズル４を備えている。 - 特許庁