defect morphologyとは 意味・読み方・使い方

To provide an inspection method of a pattern defect capable of stably detecting a target defect in various processes by reducing the misdetection of grain or morphology or the effect of interference light intensity irregularity, and an inspection device of the pattern defect.例文帳に追加

グレインやモホロジーの誤検出や干渉光強度ムラの影響を低減して、様々なプロセスにおけるターゲット欠陥を安定に検出できるパターン欠陥検出方法及びその装置を提供すること。 - 特許庁

The continuous defect determination method for analyzing distribution morphology based on information regarding surface defects arisen on the thin steel sheet F to determine the presence of continuous defect.例文帳に追加

薄鋼板Ｆに発生する表面欠陥に関する情報を基に分布形態を解析して連続欠陥の有無を判定する連続欠陥判定方法を提供する。 - 特許庁

To efficiently and easily obtain a substrate for epitaxial growth of a GaN compound semiconductor monocrystal membrane which has little crystal defect and favorable surface morphology.例文帳に追加

結晶欠陥が少なく、表面モフォロジーが良好な、ＧａＮ系化合物半導体単結晶薄膜エピタキシャル成長用の基板を、効率よく、且つ簡単に得る。 - 特許庁

To provide a manufacturing method of a semiconductor device, capable of easily processing shapes different in etching depth on a same surface without inducing a defect (group V atomic vacancy) by desorption of a constituent atom of a semiconductor and causing degradation of a surface morphology.例文帳に追加

半導体の構成原子の脱離による欠陥（Ｖ族原子空格子）の誘起または表面モフォロジーの劣化を生じさせずに、同一面内でエッチング深さが異なる形状を容易に加工することができる半導体素子の作製方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing sufficiently a monocrystal GaN substrate which is a growing substrate capable of obtaining a semiconductor layer of a good surface morphology or a monocrystal GaN substrate which can be suitably used as a semiconductor substrate, by reducing a defect in a polishing process and shortening a polishing time.例文帳に追加

研磨工程における不良を低減し、研磨時間を短縮して、表面モフォロジーが良好な半導体層が得られる成長用基板である単結晶ＧａＮ基板又は半導体基板として好適に用いることができる単結晶ＧａＮ基板を効率よく製造する方法を提供する。 - 特許庁

To provide an effective method for depositing inert polymers and pharmaceutical or biological agents onto a substrate, where the collection process is efficient, the coating produced is conformal, substantially defect-free and uniform, the composition of the coating can be regulated and the morphology and/or secondary structure of the pharmaceutical or biological agents can be controlled.例文帳に追加

不活性ポリマーと医薬又は生物学的製剤とを基材に付着させるための効率の良い方法であって、捕集プロセスは効率的であり、生じるコーティングは表面に沿い（ｃｏｎｆｏｒｍａｌ）、実質的に欠点がなく均一であり、コーティングの組成は規制することができ、医薬又は生物学的製剤のモルホロジー及び／又は２次構造は制御可能な方法の提供。 - 特許庁