electron beam processorとは 意味・読み方・使い方

ELECTRON BEAM IRRADIATION WINDOW OF ELECTRON BEAM IRRADIATION TYPE EXHAUST GAS PROCESSOR例文帳に追加

電子線照射式排ガス処理装置の電子線照射窓 - 特許庁

WINDOW FOIL COOLING DEVICE OF ELECTRON BEAM EXHAUST GAS PROCESSOR例文帳に追加

電子ビーム排ガス処理装置の窓箔冷却装置 - 特許庁

MOVING BODY, LINEAR MOTOR, WAFER STAGE, STAGE UNIT, AND ELECTRON BEAM PROCESSOR例文帳に追加

移動体、リニアモータ、ウェハステージ、ステージ装置、電子ビーム処理装置 - 特許庁

METHOD AND DEVICE FOR DETECTING END POINT OF ELECTRON BEAM PROCESSOR例文帳に追加

電子ビーム加工機の終点検出方法とその機能を備えた装置 - 特許庁

An exposure processor 315 uses the block tray mask 307 to expose a wafer 309 by electron beam.例文帳に追加

露光処理部３１５では、ブロックトレイマスク３０７を用いて、ウェハ３０９に電子ビームを露光する。 - 特許庁

PLOTTING SYSTEM, INFORMATION PROCESSOR, ELECTRON BEAM PLOTTING DEVICE, INSPECTION METHOD FOR BASE MATERIAL, PROGRAM FOR EXECUTING THE METHOD, RECORDING MEDIUM HAVING PROGRAM RECORDED THEREON, PLOTTING METHOD AND MANUFACTURING METHOD FOR BASE MATERIAL例文帳に追加

描画システム、情報処理装置、電子ビーム描画装置、基材の検査方法、その方法を実行するためのプログラム、プログラムを記録した記録媒体、描画方法、及び基材の製造方法 - 特許庁

In this defect checking device, first an electron beam is applied to the wafer having the mirror polished surface to obtain image data, and the image data is stored in a first area of a first storing part 20 of an image data processor 12.例文帳に追加

欠陥検査装置において、まず、鏡面研磨面のウエハに電子ビームを照射して画像データを得、画像データ処理装置１２の第１記憶部２０の第１領域に記憶する。 - 特許庁