electron synchrotronとは 意味・読み方・使い方

To generate synchrotron radiations having sharp profiles by separating a plurality of electron beams to make them pass through uncombined tracks and separating a convergent magnet for converging each electron beam for every beam.例文帳に追加

複数の電子ビームを分離して別々の軌道を通過させ、各電子ビームを収束する収束磁石をビーム毎に分離する。 - 特許庁

To provide a device and a method of measuring the circumference length or its part of an electron rotation part to control the synchrotron radiation pulse time from its changing amount in an synchrotron radiation generating device.例文帳に追加

放射光発生装置において、電子周回部の周長又はその一部を測長し、その変化量から放射光パルス時間を制御する装置及び方法を提供。 - 特許庁

X rays called synchrotron radiation and visible rays are generated through the meandering of an electron beam e^- when it passes between pairs of magnets 25a and 25b constituting an insertion light source 22 in an accelerator 21.例文帳に追加

加速器２１内の挿入光源２２を構成する複数対の磁石２５ａ、２５ｂ間を電子ビームｅ^-が通過する際電子ビームｅ^-が蛇行してシンクロトロンと呼ばれるＸ線や可視光が発生する。 - 特許庁

The device includes an energy recovery type linear accelerator 1 accelerating incident electron beams to rotate it around the electron rotation part with a deflection electromagnet 7, a circumference length correction chicane 10 constituted of a plurality of electromagnets provided on the electron rotation part, and an optical delay mechanism 11 changing the optical path length of synchrotron radiation without changing the optical axis by making the synchrotron radiation generated by the deflection electromagnet 7 obliquely incident upon rotating mirrors set on two slidable stages.例文帳に追加

入射した電子ビームを加速し偏向電磁石７により電子周回部を周回させるエネルギー回収型リニアック１と、前記電子周回部に設けた複数の電磁石からなる周長補正用シケイン１０と、偏向電磁石７で発生した放射光を２台のスライド移動可能なステージに設置した回転ミラーに斜入射させることにより光軸を変えずに放射光の光路長を変化させる光学遅延機構１１とからなる。 - 特許庁

To provide a radiation-sensitive composition which effectively sensitizes (extremely) far ultraviolet rays such as KrF excimer laser, ArF excimer laser, or EUV, X-rays such as synchrotron radiations, and electron beams, has excellent sensitivity, and can form chemical amplification type positive resist films capable of high precisely and stably forming fine patterns.例文帳に追加

ＫｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦエキシマレーザー、ＥＵＶ等の（極）遠紫外線、シンクロトロン放射線等のＸ線、電子線に有効に感応し、感度に優れ、微細パターンを高精度に且つ安定して形成可能な化学増幅型ポジ型レジスト膜を成膜することができる感放射線性組成物を提供すること。 - 特許庁

To provide a radiation sensitive resin composition which can be advantageously used as a resist for the production of an integrated circuit supposed to be made minuter in future by making the composition adaptable to any radiation, e.g. X-rays such as synchrotron radiation or charged corpuscular radiation such as electron beams besides far UV such as excimer laser light.例文帳に追加

エキシマレーザーなどの遠紫外線以外にも、シンクロトロン放射線などのＸ線、電子線などの荷電粒子線といった、放射線のいずれにも対応できるので、今後さらに微細化が進行すると予想される集積回路製造用のレジストとして有利に使用できる感放射線性樹脂組成物を提供すること。 - 特許庁