electrostatic electron microscopeとは 意味・読み方・使い方

ELECTROSTATIC CHARGE MEASURING METHOD, FOCUS ADJUSTING METHOD, AND SCANNING ELECTRON MICROSCOPE例文帳に追加

帯電測定方法、焦点調整方法、及び走査電子顕微鏡 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope capable of facilitating cleaning of an electrostatic chuck and reducing the attenuating non-operating time due to the stain of the electrostatic chuck.例文帳に追加

本発明は、静電チャックのクリーニングを容易にし、また静電チャック汚染による不稼働時間を低減可能な走査電子顕微鏡の提供を目的とする。 - 特許庁

To provide a scanning electron microscope which is suitable for monitoring conditions of the device, without having to depend on the existence of electrostatic charges or sample tilting, or the like.例文帳に追加

本発明の目的は、帯電や試料傾斜等の存在によらず、装置の状態をモニタするのに好適な走査電子顕微鏡を提供することにある。 - 特許庁

This is an electrostatic charge measuring method and a focus adjustment method, or a scanning electron microscope to measure the charge amount or to control an impressing voltage on the test piece by moving the scanning place of the electron beams on the test piece, and changing the impressing voltage on an energy filter.例文帳に追加

上記目的を達成するために、本発明の一態様によれば、試料上の電子ビームの走査個所を移動しつつ、エネルギーフィルタへの印加電圧を変化させることで、帯電量を測定、或いは試料への印加電圧を制御する帯電測定方法、焦点調整方法、或いは走査電子顕微鏡を提案する。 - 特許庁

The electron microscope introducing a sample through a spare exhaust room for carrying out measurement and observation by electron beams is to be provided with an exchange room for an electrostatic chuck different from the spare exhaust chamber, and a vacuum pump for vacuum pumping the exchange chamber.例文帳に追加

上記課題を解決するために、電子ビームによる測定，観察を行うために予備排気室を経由して、試料を導入する電子顕微鏡において、前記予備排気室とは異なる静電チャックの交換室と、当該交換室を真空排気するための真空ポンプを備えた電子顕微鏡を提案する。 - 特許庁