far-ultraviolet raysとは 意味・読み方・使い方

To provide an optical element producible in a mass and having high transmittance of ultraviolet rays, far ultraviolet rays and vacuum ultraviolet rays, a method for producing the element, an exposure apparatus, method for producing a device and a device produced thereby.例文帳に追加

量産が容易で 紫外光、遠紫外光及び真空紫外光の透過率が高い光学素子及びその製造方法、露光装置、デバイス製造方法、並びに、デバイスを提供する。 - 特許庁

To provide a resist underlayer polymer having high absorption in a short wavelength region of far ultraviolet rays, etc.例文帳に追加

遠紫外線などの短波長領域で強い吸収度を有する高分子を提供する。 - 特許庁

To provide a far ultraviolet rays catadioptric anamorphic telescope to be used for narrowing the band of the beam width of a pulse laser comprising a pulse electric discharge laser.例文帳に追加

遠紫外線カタディオプトリック・アナモルフィック・テレスコープを提供することを目的とする。 - 特許庁

The telescope 205 is especially useful for far ultraviolet rays (DUV) by wave length being shorter than about 250 nm.例文帳に追加

テレスコープ２０５は、約250nmよりも短い波長で遠紫外（ＤＵＶ）用途に関して特に有用である。 - 特許庁

Meanwhile, the far-infrared mask 10 can protect the skin from damage caused by ultraviolet rays because the mask has the ultraviolet protective function.例文帳に追加

一方、本発明による遠赤外線マスク１０は、紫外線防御機能を有するため、紫外線ダメージから皮膚を守ることができる。 - 特許庁

To improve efficiency for ultraviolet rays emitted from a discharge lamp to reach a treating target as far as possible.例文帳に追加

放電ランプから出射される紫外線の処理対象物への到達効率を可及的に向上させる。 - 特許庁

To provide a resist composition which is superior in transmission of radiation and dry etching resistance and used for far-ultraviolet rays, such as those of KrF and ArF excimer lasers and vacuum ultraviolet rays, such as those of F_2 excimer laser.例文帳に追加

ＫｒＦ、ＡｒＦエキシマレーザー等の遠紫外線やＦ_2エキシマレーザー等の真空紫外線に対して用いられる、放射線の透過性に優れ、耐ドライエッチング性に優れたレジスト組成物の提供。 - 特許庁

A resist pattern 11 on a photomask is irradiated with far ultraviolet rays 15 to promote the initial structural change in the resist.例文帳に追加

上記課題を解決するため、フォトマスク上のレジストパターン１１に遠紫外光１５を照射し、レジストの初期構造変化を促す。 - 特許庁