focal plane detectorとは 意味・読み方・使い方

THERMAL TYPE INFRARED DETECTOR AND INFRARED FOCAL PLANE ARRAY例文帳に追加

熱型赤外線検出器及び赤外線フォーカルプレーンアレイ - 特許庁

The optical detector can be placed on a focal plane of the microlens array or on an outer part by being connected to the microlens array via an optical fiber network.例文帳に追加

光検出器は、マイクロレンズアレイの焦点面に置くことができ、または光ファイバのネットワークによってマイクロレンズアレイに接続され外部に置くことができる。 - 特許庁

The imaging position of the two-dimensional detector is set at even-numbered spots Pos1, 2, 3, 4 which are plane-symmetrical with respect to a plane including a perpendicular drawn from an X-ray focal point to an initial position detection surface 20a of the two-dimensional detector and parallel to an initial position rotation axis 50 of an inspection object.例文帳に追加

二次元検出器の撮像位置を、Ｘ線焦点から二次元検出器の初期位置検出面２０ａに降ろした垂線を含み被検査体の初期位置回転軸５０と平行な面に関して面対称な偶数箇所Ｐｏｓ１，２，３，４に設定する。 - 特許庁

The light passed through the anamorphic lens is detected by a detector array having an output coupled with a focal plane processor for processing an analog output from the detector array into an initial tuning command for detecting and characterizing a pulse in the input signal.例文帳に追加

アナモルフィックレンズを通過する光は、検出器配列からのアナログ出力を、入力信号内のパルスの検出と特徴付けのための初期同調コマンドへ処理する、焦点面プロセッサに結合された出力を有する検出器配列により検知される。 - 特許庁

An abnormality detection/classification method that checks dispersion in a raw data using a raw back-focal-plane image data of radiation from a substrate surface detected by a scatterometer detector, and associates the variation in the raw data that may possibly occur in the lithographic device or a fault that may possibly occur in a process where the substrate surface is patterned is disclosed.例文帳に追加

スキャトロメータディテクタによって検出された、基板表面からの放射の生の後焦点面像データを使用して、生データ内のばらつきを確認し、生データのばらつきをリソグラフィ装置、または基板表面をパターニングしたプロセスにて起こり得る異常に関連付ける、異常検出／分類方法を開示する。 - 特許庁

A portion where electrons reflected vertically from a sample 104 are formed is shielded by a shielding object 117, on a diffraction spot formed on a rear focal plane of an electron lens 111, and other reflected electron beams are detected by a detector 112, and its integration intensity is monitored by an input/output device 115, to thereby determine a foreign matter or a flaw.例文帳に追加

電子レンズ１１１の後焦点面に形成される回折スポットのうち、試料１０４から垂直に反射される電子が形成する部分を遮蔽物１１７で遮蔽し、その他の反射電子線を検出器１１２で検出し、その積分強度を入出力装置１１５でモニタすることにより異物や欠陥の判定を行う。 - 特許庁

A radiation sensor comprises a radiation receiver, placed on a final element focal plane of a projection system, a transparent plate for supporting the radiation receiver on a side facing the projection system, a quantum transformation layer formed for absorbing first wavelength incoming light incident on the transparent plate and re-radiating second wavelength light, a fiber optics block with multiple optical fibers, and a radiation detector.例文帳に追加

放射センサは、投影システムの最終エレメントの焦点面に配置された放射レシーバと、投影システムに面する側で放射レシーバを支持する透過性プレートと、透過性プレートに入射した第一波長の光を吸収して、第二波長で光を再放射するように構成された量子変換層と、複数の光ファイバを備えるファイバオプティクスブロックと、放射ディテクタとを含む。 - 特許庁