focus measurementとは 意味・読み方・使い方

When a focus value is calculated, a shrinkage of a resist pattern for measuring a focus formed by exposing a measurement object of focus value is measured.例文帳に追加

フォーカス値を求める場合、フォーカス値測定対象の露光により形成されたフォーカス測定用レジストパターンのシュリンク量を測定する。 - 特許庁

PHOTOMASK, AND FOCUS MEASUREMENT AND DEFOCUS ADJUSTMENT METHODS OF EXPOSURE DEVICE例文帳に追加

フォトマスク、露光装置のフォーカス測定方法及びデフォーカス調整方法 - 特許庁

Scanning is performed at a position different from the position of a wafer in exposure, so as to perform focus measurement, focus information is calculated by using the measurement value of the focus measurement, and then scanning exposure is performed at an exposure position through the use of the calculated focus information, while performing z-driving and tilt-driving.例文帳に追加

露光するときのウエハの位置とは異なる位置でスキャンしてフォーカス計測をして、フォーカス計測の計測値も使ってフォーカス情報を算出し、算出したフォーカス情報を使ってＺ駆動やチルト駆動しながら露光位置でスキャン露光する。 - 特許庁

A measurement value Tref/Tf where the influence of focus sensitivity has been removed is obtained.例文帳に追加

フォーカス感度の影響が除かれた測定値（Ｔref／Ｔf）が求められる。 - 特許庁

To stably retain an optical probe at a desired observation position and focus a measurement light on a measurement object.例文帳に追加

光プローブを所望の観察位置に安定的に保持して測定対象に対して測定光を集光させる。 - 特許庁

In measurement of the focus deviation direction/amount, a root-mean-square is used.例文帳に追加

ピントずれ方向・量の測定に際しては、二乗平均平方根を用いる。 - 特許庁

The coordinates of a location, at which the point of measurement of the sample is in focus, are determined by focus positioning means (32 and 92).例文帳に追加

そして、焦点位置決め手段（３２、９２）が試料の測定点に対して焦点の合う位置の座標を決定する。 - 特許庁

Additionally measurement can be made at diaphragm positions (focus 3) via the mirror.例文帳に追加

加えて、鏡を介する絞り位置（焦点３）での測定をなすことも可能である。 - 特許庁