inject ionsとは 意味・読み方・使い方

The ion-doping apparatus is equipped with a plasma chamber, where a prescribed substance is excited in a plasma to generate ions and a processing chamber where the ion beam made to collide with the sample to inject ions into it.例文帳に追加

また、このイオン注入装置を用いて、生産性を高め、かつ、スイッチング特性に優れた薄膜半導体装置を提供する。 - 特許庁

A gate electrode is provided at a prestage of an ion reservoir provided in front of an injection portion to inject ions.例文帳に追加

イオンを射出する射出部の前に設けられているイオン溜りの前段にゲート電極を設ける。 - 特許庁

An ion beam having given energy adjusted through acceleration by an accelerator 16 is emitted onto a substrate S held in a vacuum space, where the ion beam scans the substrate S in X and Y directions to inject ions.例文帳に追加

真空中で保持された基板Ｓに対し、加速器１６により加速することで所定の注入エネルギーに制御したイオンビームを照射し、Ｘ、Ｙ方向に走査させて所定のイオンを注入する。 - 特許庁

To provide an ion injector that makes it possible to inject uniform ions into substrates and can generate a treatment layer of high quality whose thickness is uniform and which is stable in the substrates.例文帳に追加

複数の基体に対して均一なイオン注入を可能とし、複数の基体に厚みが均一で安定した高品質の処理層を生成可能なイオン注入装置を提供する。 - 特許庁

By jetting gas from a tip of the air tube while a high voltage is applied to the wire electrode 10, discharge is made between a tip portion 10a of the wire electrode 10 and a counter electrode 16 to inject ions from the tip of the air tube.例文帳に追加

ワイヤ電極１０に高電圧を印加しながら、エアーチューブ先端から気体を噴出することにより、ワイヤ電極１０の先端部１０ａと対向電極１６との間で放電させてエアーチューブ先端からイオンを噴射する。 - 特許庁