interferometer systemsとは 意味・読み方・使い方

To reduce polarization leakage in interferometer systems.例文帳に追加

干渉計システムにおける偏光漏洩を低減すること。 - 特許庁

The lithographic apparatus further includes X, Y and Z interferometer measurement systems, and an object support positioning system configured to position the object support in a number of degrees of freedom on the basis of measurements of the interferometer measurement systems.例文帳に追加

リソグラフィ装置は、さらに、Ｘ、Ｙ及びＺ干渉計測定システムと、干渉計測定システムの測定に基づいて対象物支持体を複数の自由度で位置決めする対象物支持体位置決めシステムとを有している。 - 特許庁

The retardation plate is fixed with an adhesive after it is determined in the direction of minimizing the polarization leakage of the interferometer systems.例文帳に追加

リターデーションプレートは、干渉計システムの偏光漏洩が小さくなる向きに定められた後、接着剤で固定される。 - 特許庁

The interferometer systems (200, 800) includes a plane mirror interferometer (230), a deflecting mirror (212), retardation plate assemblies (216, 816A) with retardation plates which can be fixed after adjustment, and retro-reflectors (214, 814).例文帳に追加

平面鏡干渉計（２３０）、転向ミラー（２１２）、調節後に固定することが出来るリターデーションプレートを有するリターデーションプレートアセンブリ（２１６、８１６Ａ）およびレトロリフレクタ（２１４、８１４）を有する干渉計システム（２００、８００）。 - 特許庁

To prevent relative variations in the position measurement among a plurality of interference optical systems, in an interferometer system equipped with a plurality of interference optical systems used for position measurement on the same axial direction.例文帳に追加

同一軸方向の位置計測に用いられる複数の干渉光学系を備える干渉計システムにおいて、複数の干渉光学系の間での位置計測の相対変化を防止する。 - 特許庁

To get an interferometer system for wavefront measurement with high practicability, capable of easily adjusting optical systems in addition to be equipped with a compact optical system with easy configuration.例文帳に追加

構成簡易でコンパクトな光学系を備え、かつ光学系の調整を容易に行なうことが可能な実用性の高い波面測定用干渉計装置を得る。 - 特許庁

To provide a lithographic projection apparatus, in which interferometer systems 6, 8, 14, 15, and 16 have a capacity area, extending over a measurement station 4 and a exposure station 2, and a method.例文帳に追加

干渉計システム６、８、１４、１５、１６が第１の測定ステーション４及び第２の露光ステーション２にわたって広がる能力範囲を有するリソグラフィ投影装置１及び方法。 - 特許庁