laser interferometersとは 意味・読み方・使い方

The third fine movement stage measurement system includes an encoder system including a plurality of Y heads 96, 97 and a laser interferometer system including laser interferometers 76a-76d.例文帳に追加

第３の微動ステージ計測系は、複数のＹヘッド９６，９７を含むエンコーダシステムとレーザ干渉計７６ａ〜７６ｄを含むレーザ干渉計システムとを含む。 - 特許庁

The plane stage device 10 computes an operation position of a slider 14 from measured values obtained by laser interferometers 18 to 20.例文帳に追加

平面ステージ装置１０では、レーザ干渉計１８〜２０により計測された計測値によってスライダ１４の動作位置を演算する。 - 特許庁

Also, when a stage 14 for measurement enters the measurable range of the laser interferometers 15X1, 15X2, and 15Y, the position of the reference mark MB is measured by the wafer alignment sensor, and the measured values of the laser interferometers 15X1, 15X2, and 15Y are corrected, based on the measured result.例文帳に追加

また、計測用ステージ１４が、レーザ干渉計１５Ｘ１，１５Ｘ２，１５Ｙの計測範囲内に入った際にも、同様に基準マークＭＢの位置をウエハアライメントセンサにより計測し、この計測結果に基づいてレーザ干渉計１５Ｘ１，１５Ｘ２，１５Ｙの計測値の補正を行う。 - 特許庁

A control part 4 decides the position of the stage according to the measured length of laser beam which does not irradiate a division position A between two wavelengths obtained by the laser interferometers 7 and 8.例文帳に追加

制御部４では、各レーザ干渉計７，８による２つの測長のうち、分割位置Ａを照射していないレーザ光による測長に基づきステージの位置を判定する。 - 特許庁

This device comprises: a plurality of laser interferometers 3a-3q; a position measuring part 82 measuring the position of a slider 2; and a selecting part 81 selecting a laser interferometer used for controlling the position of the slider 2 out of the plurality of interferometers 3a-3q according to the measurement position of the slider measured by the position measuring means 82.例文帳に追加

複数のレーザ干渉計３ａ〜３ｑと、スライダ２の位置を計測する位置計測部８２と、位置計測手段８２により計測されるスライダの計測位置に応じて、複数のレーザ干渉計３ａ〜３ｑの中からスライダ２の位置制御のために使用するレーザ干渉計を選択する選択部８１と、を備える。 - 特許庁

A laser length measuring system comprises a laser light source 31, a three-axis interferometer 32, bar mirrors 33, 34, 36, 38 and uniaxial interferometers 35, 37 and detects the position of a chuck 10 and the position of a mask holder 20.例文帳に追加

レーザー測長系は、レーザー光源３１、３軸干渉計３２、バーミラー３３，３４，３６，３８、及び１軸干渉計３５，３７を含んで構成され、チャック１０の位置と、マスクホルダ２０の位置とを検出する。 - 特許庁

To provide an XY stage which does not require changeover between a plurality of laser interferometers even in the case that a slider part moves over a platen beyond the size of a mounted mirror.例文帳に追加

スライダ部が、搭載されたミラーのサイズを超えてプラテン上を移動する場合でも、複数のレーザ干渉計を切り換える必要がないＸＹステージを実現する。 - 特許庁

The correction quantity arithmetic part 44_1 calculates correction quantity ΔT corresponding to a yaw angle based on a difference(L1-L2) between distances L1 and L2 measured by Y1 and Y2 laser interferometers 36 and 37.例文帳に追加

補正量演算部４４_１は、Ｙ１，Ｙ２レーザ干渉計３６，３７により計測された距離Ｌ１，Ｌ２との差（Ｌ１−Ｌ２）に基づいて、ヨー角に応じた補正量△Ｔを演算する。 - 特許庁