laser interferometer systemとは 意味・読み方・使い方

A measurement system 100 including a laser interferometer 104, a retroreflector 106 and a handling device 102 is used.例文帳に追加

レーザ干渉計１０４と再帰反射体１０６とハンドリング装置１０２を有する測定システム１００を用いる。 - 特許庁

A measuring system 122 measures a position of an XYθ stage 102 with a laser interferometer 201 and a linear scale 202.例文帳に追加

測長システム１２２は、ＸＹθステージ１０２の位置をレーザ干渉計２０１とリニアスケール２０２を用いて測定する。 - 特許庁

A position measurement system comprises: the laser interferometer measuring a position to be measured by utilizing the interference of laser beams; and the wavelength detector detecting a change in the wavelength of laser beams.例文帳に追加

位置計測システムは、レーザ光の干渉を利用して測定対象の位置を計測するレーザ干渉計と、レーザ光の波長の変化を検出する波長検出器とを有する。 - 特許庁

A first laser interferometer 41 and a second laser interferometer 42 each include a light source, a mirror 104 attached to a stage 105, and an optical system which receives light reflected by the mirror 104 after being emitted from the light source.例文帳に追加

第１のレーザ干渉計４１と第２のレーザ干渉計４２は、それぞれ、光源と、ステージ１０５に取り付けられるミラー１０４と、光源から出射された後にミラー１０４で反射されて戻った光を受光する光学系とを備える。 - 特許庁

A single or multiple measuring mirror(s) 30 and/or measuring laser beam 20 of an interferometer system are positioned so that no relevant part of the laser beam is parallel to the z-direction.例文帳に追加

レーザ・ビームの関連する部分がｚ方向に平行にならないように干渉計システムの１つ又は複数の測定ミラー３０及び／又は測定レーザ・ビーム２０を配置する。 - 特許庁

To provide an X-Y stage system capable of reducing a length-measurement error due to air fluctuation by including a length-measurement light path tube mechanism for adequately covering a length-measurement light path of a laser interferometer in its X-Y stage having a position length measurement part moving in X/Y directions by the laser interferometer.例文帳に追加

レーザー干渉計による位置測長部位がＸＹ方向に運動するＸＹステージにおいて、レーザー干渉計の測長光路を十分に覆う測長光路筒機構を備えることで空気揺らぎによる測長誤差を低減できるＸＹステージ装置を提供する。 - 特許庁

To stably purge the inside of an exposure light passage in a space between the projection optical system of an aligner and a wafer, and to reduce any length measurement error to be generated in a laser interferometer.例文帳に追加

露光装置の投影光学系とウエハの間の空間の露光光路内を安定してパージし、且つレーザ干渉計発生する測長誤差を低減する。 - 特許庁

A laser length measuring system comprises a laser light source 31, a three-axis interferometer 32, bar mirrors 33, 34, 36, 38 and uniaxial interferometers 35, 37 and detects the position of a chuck 10 and the position of a mask holder 20.例文帳に追加

レーザー測長系は、レーザー光源３１、３軸干渉計３２、バーミラー３３，３４，３６，３８、及び１軸干渉計３５，３７を含んで構成され、チャック１０の位置と、マスクホルダ２０の位置とを検出する。 - 特許庁