「laser interferometer system」に関連した英語例文の一覧と使い方 - Weblio英語例文検索

The third fine movement stage measurement system includes an encoder system including a plurality of Y heads 96, 97 and a laser interferometer system including laser interferometers 76a-76d.例文帳に追加

第３の微動ステージ計測系は、複数のＹヘッド９６，９７を含むエンコーダシステムとレーザ干渉計７６ａ〜７６ｄを含むレーザ干渉計システムとを含む。 - 特許庁

The optical fiber homodyne laser interferometer has a microcantilever detection optical system for positioning laser spot to a microcantilever 169.例文帳に追加

光ファイバ式ホモダインレーザ干渉計において、微小カンチレバー（１６９）にレーザスポットを位置決めする微小カンチレバー検出光学系を具備する。 - 特許庁

A measurement system 100 including a laser interferometer 104, a retroreflector 106 and a handling device 102 is used.例文帳に追加

レーザ干渉計１０４と再帰反射体１０６とハンドリング装置１０２を有する測定システム１００を用いる。 - 特許庁

A measuring system 122 measures a position of an XYθ stage 102 with a laser interferometer 201 and a linear scale 202.例文帳に追加

測長システム１２２は、ＸＹθステージ１０２の位置をレーザ干渉計２０１とリニアスケール２０２を用いて測定する。 - 特許庁

A position measurement system comprises: the laser interferometer measuring a position to be measured by utilizing the interference of laser beams; and the wavelength detector detecting a change in the wavelength of laser beams.例文帳に追加

位置計測システムは、レーザ光の干渉を利用して測定対象の位置を計測するレーザ干渉計と、レーザ光の波長の変化を検出する波長検出器とを有する。 - 特許庁

A first laser interferometer 41 and a second laser interferometer 42 each include a light source, a mirror 104 attached to a stage 105, and an optical system which receives light reflected by the mirror 104 after being emitted from the light source.例文帳に追加

第１のレーザ干渉計４１と第２のレーザ干渉計４２は、それぞれ、光源と、ステージ１０５に取り付けられるミラー１０４と、光源から出射された後にミラー１０４で反射されて戻った光を受光する光学系とを備える。 - 特許庁

A single or multiple measuring mirror(s) 30 and/or measuring laser beam 20 of an interferometer system are positioned so that no relevant part of the laser beam is parallel to the z-direction.例文帳に追加

レーザ・ビームの関連する部分がｚ方向に平行にならないように干渉計システムの１つ又は複数の測定ミラー３０及び／又は測定レーザ・ビーム２０を配置する。 - 特許庁

To provide an X-Y stage system capable of reducing a length-measurement error due to air fluctuation by including a length-measurement light path tube mechanism for adequately covering a length-measurement light path of a laser interferometer in its X-Y stage having a position length measurement part moving in X/Y directions by the laser interferometer.例文帳に追加

レーザー干渉計による位置測長部位がＸＹ方向に運動するＸＹステージにおいて、レーザー干渉計の測長光路を十分に覆う測長光路筒機構を備えることで空気揺らぎによる測長誤差を低減できるＸＹステージ装置を提供する。 - 特許庁

To stably purge the inside of an exposure light passage in a space between the projection optical system of an aligner and a wafer, and to reduce any length measurement error to be generated in a laser interferometer.例文帳に追加

露光装置の投影光学系とウエハの間の空間の露光光路内を安定してパージし、且つレーザ干渉計発生する測長誤差を低減する。 - 特許庁

A laser length measuring system comprises a laser light source 31, a three-axis interferometer 32, bar mirrors 33, 34, 36, 38 and uniaxial interferometers 35, 37 and detects the position of a chuck 10 and the position of a mask holder 20.例文帳に追加

レーザー測長系は、レーザー光源３１、３軸干渉計３２、バーミラー３３，３４，３６，３８、及び１軸干渉計３５，３７を含んで構成され、チャック１０の位置と、マスクホルダ２０の位置とを検出する。 - 特許庁

Such an optical locating system as an interferometer is provided with a super luminescent device(SLD) (for example, laser diode having at least one anti-reflection coating surface) and a detector.例文帳に追加

光学的位置測定システム（例えば、干渉計）は、スーパールミネッセントデバイス（ＳＬＤ）（例えば、少なくとも１つの反射防止コート表面を有するレーザダイオード）と検出器とを有している。 - 特許庁

To provide a step-system proximity exposure method that can enhance the transfer accuracy of an exposure pattern onto a substrate, even when detection accuracy of an optical measurement sensor, such as a laser interferometer, tends to deteriorate.例文帳に追加

レーザ干渉計等の光学的計測センサの検出精度が低下しやすい場合であっても、基板上の露光パターンの転写精度を高めてることができるステップ式近接露光方法を提供する。 - 特許庁

A collimator lens used in the interferometer body part is an achromatic optical system, wherein a light demultiplexing means and a light multiplexing means are coated corresponding to using wavelength band, and the light source device is provided with the laser and an optical fiber cord for conservation of polarization surface, and connected with the interferometer main body with an optical connector.例文帳に追加

干渉計本体部のコリメータレンズは色消し光学系とし、光分割手段、及び光重ね合わせ手段は使用波長帯域に対応したコーティング処理を施すと共に、光源装置はレーザと、偏波面保存ファイバコードを有し、光コネクタで干渉計本体部と結合されるようにしたこと。 - 特許庁

Tilt amounts of a laser interferometer support base on the body structure 7 and the projection optical system 6 are measured by tilt angle meters 17(a), 17(b), 17(c), and relative position error of the mask stage 4 and the plate stage 5 is corrected from the measurement results.例文帳に追加

本体構造体7上のレーザ干渉計支持台と投影光学系6の傾き量を傾斜角計１７(ａ),１７(ｂ),１７(ｃ)により計測して、該計測結果からマスクステージ4とプレートステージ5の相対位置誤差を補正する。 - 特許庁

The light tracking type laser interferometer using an oscillating optical lever in a mechanism for varying irradiation direction of an object light in the interference metering optical system, is provided with an oscillating mechanism 3 to widen irradiation angle range by driving the mechanism 3 with the spherical surface motor 1.例文帳に追加

干渉測長光学系における物体光の照射方向を変化させる機構に首振り運動光てこを用いた光線追尾式レーザ干渉測長装置において、球面モータ１により駆動することにより照射角範囲を拡大できる首振り機構３を備えたものである。 - 特許庁

To reduce a magnetic field position detecting error and acquire a desired torque for controlling a synchronous motor in a mechanical system for a low guide friction (an air slider) and a high resolution position detector (a laser interferometer) and a general application not limiting the position detector resolution, guide friction and load mass.例文帳に追加

低ガイド摩擦(例えば、エアスライダ)・高分解能位置検出器(例えば、レーザ干渉計)の機構系だけでなく、位置検出器分解能・ガイド摩擦・負荷質量が限定されない汎用的用途においても、界磁極位置検出誤差を少なくし、かつ、同期電動機を制御する上で所望なトルクを得ることができるようにする。 - 特許庁

A drive system drives the movable body based on measurement results of a first measurement system for measuring the position of the movable body in an XY plane and measurement results of a second measurement system for measuring variations in an arm member 71 via a laser interferometer by irradiating a grating RG disposed on one surface in parallel with the XY plane of the movable body WFS with measurement beams from the arm member 71.例文帳に追加

駆動系により、アーム部材７１から移動体ＷＦＳのＸＹ平面に平行な一面に配置されたグレーティングＲＧに対して計測ビームを照射して移動体のＸＹ平面内の位置を計測する第１計測系の計測結果と、レーザ干渉計を用いてアーム部材７１の変動を計測する第２計測系の計測結果と、に基づいて移動体が駆動される。 - 特許庁

The interferometer system comprises: a synchronous signal generating section 43 for setting up an instantaneous photographing period so as to fall within a light reception acceptable period of a photographing surface 33; and an AOM 13 and an AOM driver 14 which are used for irradiating the test body 7 with a measurement light beam emitted from a semiconductor laser light source 11 only during the instantaneous photographing period.例文帳に追加

撮像面３３の受光許容期間内に含まれるように瞬間的撮像期間を設定する同期信号生成部４３と、半導体レーザ光源１１から出射された測定用光束が、この瞬間的撮像期間にのみ被検体７に照射されるためのＡＯＭ１３およびＡＯＭドライバ１４とを備える。 - 特許庁