lowkとは 意味・読み方・使い方

In this way, even if there is a difference in thermal expansion coefficient between the semiconductor chip and the wiring substrate, since the resin suppresses the behavior of the bump electrodes, the separation of the bump electrodes due to the stress of a LowK film 12 used for the semiconductor chip can be remarkably reduced, and also the separation of the LowK film can be remarkably reduced.例文帳に追加

半導体チップと配線基板に熱膨張係数差があっても、樹脂がバンプ電極の動きを抑えるので、半導体チップに用いられているＬｏｗＫ膜１２が応力によってバンプ電極の剥離が著しく少なくなり、ＬｏｗＫ膜剥離も著しく減少する。 - 特許庁

In the method for etching a dual damascene structure employing at least one layer of Lowk film and at least one layer of hard mask, at lest one dummy layer which is not left finally in the structure is formed on the hard mask in order to prevent shoulder dropping.例文帳に追加

少なくとも１層以上のＬｏｗＫ膜と少なくとも１層以上のハードマスクを用いるデュアルダマシン構造のエッチング方法であって，肩落ちを防止するために前記ハードマスクの上に，最終的には構造中に残らないダミー膜を少なくとも１層以上形成することを特徴とする，デュアルダマシン構造のエッチング方法を提供する。 - 特許庁