microwave plasma sourceとは 意味・読み方・使い方

MICROWAVE ION SOURCE, LINEAR ACCELERATOR SYSTEM, ACCELERATOR SYSTEM, ACCELERATOR SYSTEM FOR MEDICAL USE, HIGH ENERGY BEAM APPLICATION SYSTEM, NEUTRON GENERATING DEVICE, ION BEAM PROCESSING DEVICE, MICROWAVE PLASMA SOURCE, AND PLASMA PROCESSING DEVICE例文帳に追加

マイクロ波イオン源、線形加速器システム、加速器システム、医療用加速器システム、高エネルギービーム応用装置、中性子発生装置、イオンビームプロセス装置、マイクロ波プラズマ源及びプラズマプロセス装置 - 特許庁

Oxygen is supplied from a gas source 4 into the reaction tube 2, and a mixed gas is plasma gasified by a microwave from a microwave generator 5.例文帳に追加

酸素をガス源４から反応管２に供給し、マイクロ波発振器５からのマイクロ波により混合ガスをプラズマ化する。 - 特許庁

An apparatus for washing dishes with plasma includes: a plasma generation part which generates plasma by an atmospheric pressure microwave plasma generation source; a plasma treatment tank containing dishes to be subjected to plasma treatment; and a plasma control means which makes the plasma generation part to output plasma toward and the dishes contained in the plasma treatment tank.例文帳に追加

プラズマ食器洗浄装置が、大気圧マイクロ波プラズマ発生源によってプラズマを発生するプラズマ発生部と、プラズマ処理を施す食器を収容するプラズマ処理槽と前記プラズマ処理槽の食器へ向けてプラズマを前記プラズマ発生部に出力させるプラズマ制御手段とを、具備する。 - 特許庁

The apparatus for cleaning clothing with plasma includes: a plasma generation part for generating the plasma by an atmospheric pressure microwave plasma generation source; a plasma treatment tank for housing clothing to which plasma treatment is to be executed; and a plasma control means for making the plasma generation part output the plasma toward the clothing in the plasma treatment tank.例文帳に追加

プラズマ衣類洗浄装置が、大気圧マイクロ波プラズマ発生源によってプラズマを発生するプラズマ発生部と、プラズマ処理を施す衣類を収容するプラズマ処理槽とプラズマ処理槽の衣類へ向けてプラズマをプラズマ発生部に出力させるプラズマ制御手段とを、具備する。 - 特許庁

The light source for spectroscopic analysis is provided with a microwave power source 10, a microwave resonator 30 for transmitting microwaves generated by the microwave power source 10 through a waveguide 20, and a discharge tube 40 arranged in the microwave resonator 30 and filled with a plasma gas.例文帳に追加

マイクロ波電源１０と、マイクロ波電源１０において発生したマイクロ波が導波管２０によって伝えられるマイクロ波共振器３０と、マイクロ波共振器３０内に配置され、プラズマガスで満たされた放電管４０とを備える。 - 特許庁

The plasma processing apparatus comprises a chamber for performing plasma processing of an article to be processed, a slot electrode guiding a microwave for plasma processing, and a plasma source for igniting the plasma.例文帳に追加

プラズマ処理装置を、被処理体にプラズマ処理を行うためのプラズマ処理室と、該プラズマ処理のためのマイクロ波を案内するスロット電極と、該プラズマを着火させるためのプラズマ源とで構成する。 - 特許庁

The microwave plasma treatment apparatus 100 includes a treatment container 10 in which plasma is excited, a microwave source 40 which supplies a microwave for exciting the plasma in the treatment container 10, and the dielectric plate 31 which faces an inner side of the treatment container 10 and transmits the microwave supplied from the microwave source 40 into the treatment container 10.例文帳に追加

マイクロ波プラズマ処理装置１００は、内部にてプラズマが励起される処理容器１０と、処理容器１０の内部にプラズマを励起するためのマイクロ波を供給するマイクロ波源４０と、処理容器１０の内側に面し、マイクロ波源４０から供給されたマイクロ波を処理容器１０の内部に伝送させる誘電体板３１と、を備える。 - 特許庁

The microwave plasma generation device comprises a microwave source for generating excitation microwave, a plasma gas source, the vacuum vessel 1 to which gas is supplied from the plasma gas source, a coaxial waveguide tube 3 for guiding excitation microwave into the container, and a parallel flat plate launcher 2 arranged in the container 1.例文帳に追加

本発明によるマイクロ波プラズマ発生装置は、励起マイクロ波を発生するマイクロ波源と、プラズマガス源と、前記プラズマガス源からガスが供給されるプラズマ発生用の真空容器１と、前記容器内に励起用のマイクロ波を導入する同軸導波管３と、および前記容器１内に配置された平行平板ランチャ２とから構成されている。 - 特許庁