neutral beamsとは 意味・読み方・使い方

To provide a molecular beam generation method and a molecular beam generation apparatus that can generate beams of a wide range of type of molecules, especially those of molecules being decomposed by high- temperature heating, or those of neutral molecules that cannot be sublimated even by high-temperature heating at a room temperature, can ionize molecules and clusters contained in the generated neutral molecule beams, and perform mass spectrometry, spectrophotometry, and the like.例文帳に追加

室温において、広範囲の種類の分子、特に、高温加熱により分解する分子あるいは高温で加熱しても昇華しない中性分子のビームを発生させることができ、かつ生成された中性分子ビームに含まれる分子およびクラスターをイオン化し、質量分析や分光測定などを行うことができる分子ビーム発生方法及び装置を提供すること。 - 特許庁

The neutral particle beam processing apparatus 10 is provided with an ion generating means for generating ions 70 inside an ion generating chamber 14; an extracting means for extracting the ions 70 in the chamber 14; a neutralizing means for neutralizing the extracted ions 70 to generate neutral particle beams 72; and a holding pedestal 48 for holding the work 18 to be irradiated with the beams 72.例文帳に追加

中性粒子ビーム処理装置１０は、イオン生成室１４の内部にイオン７０を生成するイオン生成手段と、イオン生成室１４の内部のイオン７０を引き出す引出手段と、引き出されたイオン７０を中性化して中性粒子ビーム７２を生成する中性化手段と、中性粒子ビーム７２が照射される被処理物１８を保持する保持台４８とを備えている。 - 特許庁

Two neutral particle beams 14 generated by a neutral particle beam source 1 are radiated in the predetermined angle to a substrate 3 to generate a crystal core controlling the crystal alignment, and the substrate 3 is also heated with a heating apparatus 2 to realize solid-phase epitaxial growth of this crystal core.例文帳に追加

中性粒子ビーム源１により発生させた２つの中性粒子ビーム１４を、基板３に対し所定の角度から照射して結晶方位を制御しながら結晶核を発生させ、基板３を加熱装置２により加熱して、この結晶核を固相エピタキシャル成長させる。 - 特許庁

When the target is irradiated with laser beams, the noble metal source and the NOx storage material source are mixed with each other on the atomic levels in ionized states or neutral particle states and the obtained mixture is then mixed with the carrier oxide source on the atomic levels.例文帳に追加

レーザー照射によって貴金属源とNO_x 吸蔵材源とはイオン状態あるいは中性粒子状態で原子レベルで混合され、それが原子レベルで担体酸化物源と混合されることになる。 - 特許庁

The sputter particles of aluminum emitted in the direction of the substrate 6 are subjected to the chemical reaction with the neutral particle beams of nitrogen on the surface of the substrate 6, and an aluminum nitride thin film by a reaction product is deposited on the surface of the substrate 6.例文帳に追加

基板６方向へ放出されたアルミのスパッタ粒子は、基板６表面で窒素の中性粒子ビームと化学反応し、その反応生成物による窒化アルミ薄膜が基板６の表面に形成される。 - 特許庁

To provide a beam source and a beam treatment device capable of uniformly irradiating various beams like positive ion, negative ion, neutral particles or the like in a large diameter on a treated object and realizing charge-free and damage-free properties.例文帳に追加

正イオン、負イオン、中性粒子等の各種のビームを大口径で均一に被処理物に照射することができるビーム源及びこれらのビーム源を用いて被処理物を処理するビーム処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide a beam source and a beam treatment device capable of irradiating various beams like positive ion, negative ion, neutral particles or the like in a large diameter uniformly on a treated object and realizing charge-free and damage-free properties.例文帳に追加

正イオン、負イオン、中性粒子等の各種のビームを大口径で均一に被処理物に照射することができると共に、チャージフリー且つダメージフリーを実現するビーム源及びビーム処理装置を提供する。 - 特許庁

To provide a charge-free and damage-free neutral particle beam treatment device which can radiate beams of large diameters to a treatment object and can obtain a high neutralization ratio by an economical and compact constitution.例文帳に追加

安価且つコンパクトな構成で大口径のビームを被処理物に照射することができると共に高い中性化率を得ることができ、チャージフリー且つダメージフリーな中性粒子ビーム処理装置を提供する。 - 特許庁