partial coherenceとは 意味・読み方・使い方

ILLUMINATION SYSTEM HAVING SPATIALLY CONTROLLABLE PARTIAL COHERENCE AND COMPENSATING FOR CHANGE OF LINE WIDTH IN PHOTOLITHOGRAPHY EQUIPMENT例文帳に追加

ホトリソグラフィ装置における線幅の変化を補償する、空間的に制御可能な部分干渉性を有する照明系 - 特許庁

In a photolithographic device for projecting an image of a reticle onto a photosensitive substrate, an adjustable slit is used in combination with a partial coherence adjuster to vary at different spatial locations the exposure dose received by the photosensitive substrate and partial coherence of the system.例文帳に追加

レチクルの画像を感光性基板に投影するフォトリソグラムデバイスにおいて、調整可能スリットが部分可干渉性調整器と組み合わされ、種々異なる空間的位置において感光性基板に受光される露光量およびシステムの部分可干渉性を整する。 - 特許庁

To provide a method and device which can hold memory sequencing for interconnection based on cache coherence link from a view point of partial and non coherent memory access.例文帳に追加

部分的且つ非コヒーレントなメモリアクセスの観点からキャッシュ・コヒーレンス・リンクに基づく相互接続においてメモリ順序付けを保つ方法及び装置を提供する。 - 特許庁

To control linewidth variation and bias resulting from MEF changes and reticle linewidth variations in a printed substrate by correcting exposure dose and partial coherence at different spatial locations.例文帳に追加

基板におけるＭＥＦ変化およびレチクルライン幅変動から生じるライン幅変動およびバイアスを種々異なる空間的位置での露光量と部分可干渉性の補正によってコントロールする。 - 特許庁

To provide an inspection method for evaluating defects in directionally solidified nickel-based alloy castings having at least partial coherence light scattering characteristics and crystal grain defects in other materials.例文帳に追加

少なくとも部分干渉性光散乱特性を有する方向性凝固のニッケル基合金鋳物や他の材料における結晶粒欠陥を評価する検査法を提供する。 - 特許庁

The linewidth variance and horizontal and vertical biases or an orientation bias are calculated or measured at different spatial locations with reference to a reticle, and a corrected exposure dose and partial coherence is determined at the required spatial locations to compensate the variance in linewidth and bias on the printed substrate.例文帳に追加

ライン幅変化、および水平、垂直バイアスまたは配向バイアスが種々異なる空間的位置でレチクルを基準にして計算または測定され、補正された露光量および部分可干渉性が所要の空間的位置で検出され、ライン幅の変動および基板におけるバイアスを補償する。 - 特許庁