linewidthとは 意味・読み方・使い方

A factor of a polynominal function expressing the irregularity of the linewidth in the wafer surface is calculated from the result of the linewidth measurement in the wafer surface.例文帳に追加

そのウェハ面内の線幅測定結果から、線幅の面内ばらつきを示す多項式関数の係数を算出する。 - 特許庁

IMAGE FORMING APPARATUS, LINE WIDTH CONTROL METHOD, AND LINEWIDTH CONTROL PROGRAM例文帳に追加

画像形成装置、線幅制御方法、および線幅制御プログラム - 特許庁

DUV SCANNER FOR CONTROLLING LINEWIDTH BY MASK ERROR FACTOR COMPENSATION例文帳に追加

マスクエラー係数補償によりライン幅をコントロールするＤＵＶスキャナ - 特許庁

The calculation model calculates the temperature correction value from which the linewidth within the wafer surface becomes uniform based on the linewidth measurement value of the resist pattern.例文帳に追加

算出モデルは，レジストパターンの線幅測定値に基づいて，ウェハ面内の線幅が均一になるような温度補正値を算出する。 - 特許庁

The results of measurement of the linewidth of the etching pattern are converted into the linewidth of a resist pattern using a function fn given in advance.例文帳に追加

予め求められている関係式ｆｎを用いて、そのエッチングパターンの線幅測定結果をレジストパターンの線幅に換算する。 - 特許庁

The image forming apparatus detects linewidth in a linewidth detection part 105 by attribute data inputted from an attribute data inputting part 101.例文帳に追加

画像形成装置は、属性データ入力部１０１から入力された属性データより、線幅検出部１０５において線幅を検出する。 - 特許庁

To reduce variation of linewidth of resist patterns between, for example, shot areas.例文帳に追加

例えば、ショット領域間でのレジストパターンの線幅ばらつきを低減する。 - 特許庁

To provide a linewidth measuring method which can measure linewidth accurately even if the texture level is not stabilized, and to provide a record medium recording a program.例文帳に追加

地肌レベルが安定しなくても、正確に線幅を測定することが可能な線幅測定方法及びそのプログラムを記録した記録媒体を提供する。 - 特許庁