phosphoric acid processとは 意味・読み方・使い方

Finally, as a washing process, washing is carried out with a phosphoric acid solution (S18).例文帳に追加

最後に、洗浄工程として、リン酸の溶液にて洗浄する（Ｓ１８）。 - 特許庁

After an ion implantation process is carried out, the silicon nitride film 3 is removed by wet etching using a hot phosphoric acid.例文帳に追加

イオン注入後、熱燐酸によりウェットエッチングによりシリコン窒化膜３を除去する。 - 特許庁

Then heating and applying of phosphoric acid are stopped, the wafer is cooled and is subsequently removed from the process chamber.例文帳に追加

次に、リン酸の加熱と塗布を停止し、ウエハを冷却し、処理チャンバから取除く。 - 特許庁

To provide a method capable of obtaining a concentration of a hydrofluoric acid as a whole including the hydrofluoric acid from a fluorophosphoric acid and concentrations of the fluorophosphoric acid and a phosphoric acid in the method for analyzing a mixed acid liquid in an etching process including the hydrofluoric acid, the phosphoric cid and the fluorophosphoric acid.例文帳に追加

フッ酸とリン酸とフルオロリン酸とを含むエッチングプロセスにおける混酸液の分析方法であって、フルオロリン酸からのフッ酸をも含めた全体としてのフッ酸の濃度とフルオロリン酸およびリン酸の各濃度を求めることが出来る方法を提供する。 - 特許庁

This method for producing the phosphoric acid ester comprises (A) making the phosphoric acid ester contact with an inert gas, after heating the phosphoric acid ester, so as to reduce the amount of the smelling component contained in the phosphoric acid ester, and (B) cooling the phosphoric acid ester of which the amount of the smelling component is reduced by the process (A), and further repeating the processes (A) and (B).例文帳に追加

（Ａ）リン酸エステルを加熱した後、不活性ガスと該リン酸エステルとを接触させ、該リン酸エステルに含有されている有臭成分量を低減する工程、及び（Ｂ）工程（Ａ）で有臭成分量が低減されたリン酸エステルを冷却する工程を繰り返す、有臭成分量が低減されたリン酸エステルの製造法。 - 特許庁

To provide an effective process for separation of phosphoric acid and a hydrolysate of lignocellulose from phosphoric acid solution containing a hydrolysate prepared by phosphoric acid hydrolysis of lignocellulose, and a process capable of low cost mass production of glucose from lignocellulose.例文帳に追加

リグノセルロースを燐酸で加水分解して得られる加水分解生成物を含む燐酸溶液から、燐酸とリグノセルロースの加水分解生成物とを効率的に分離する方法及びグルコースを安価に大量生産することが可能なリグノセルロースからグルコースを製造する方法を提供すること。 - 特許庁

This compound having the phosphoric acid ester bond is characterized by being obtained by reacting a compound having an oxetane ring in its molecule with phosphoric acid, and a method for producing the compound having the phosphoric acid ester bond is characterized by comprising a process of performing the reaction of the compound having the oxetane ring in its molecule with phosphoric acid.例文帳に追加

分子内にオキセタン環を有する化合物とリン酸とを反応させることにより得られることを特徴とするリン酸エステル結合を有する化合物、及び、分子内にオキセタン環を有する化合物とリン酸との反応を行う工程を含むことを特徴とするリン酸エステル結合を有する化合物の製造方法。 - 特許庁

First, in the impregnation process S1, a matrix is impregnated with a liquid electrolyte such as phosphoric acid, sulfuric acid and methanesulfonic acid and an electrolyte layer 18 is made.例文帳に追加

まず、含浸工程Ｓ１において、該マトリックスにリン酸や硫酸、メタンスルホン酸等の液状電解質を含浸させて電解質層１８とする。 - 特許庁