planar ringとは 意味・読み方・使い方

Alternately, optical paths are crossed for conventional FP resonator and planar ring resonator, and both optical paths may be coupled.例文帳に追加

また、従来のＦＰ型共振器や平面型リング共振器の光路を交差させ、両者の光路を結合させてもよい。 - 特許庁

The polygon includes generally planar walls, arranged in a ring having first mirrored facets, generally facing toward the center of the ring and second mirrored facets facing generally away from the center of the ring.例文帳に追加

多角体は、ほぼリングの中心の方向に向いている第１のミラー付きファセットと、ほぼリングの中心から遠ざかる方向を向いている第２のミラー付きファセットとを有するリング内に配置されているほぼ平らな壁部を含む。 - 特許庁

By turning a focus ring 7, the conductive member 20 is moved back and forth in the axial direction and the distance with the planar inductor 19 is changed.例文帳に追加

フォーカスリング７を回すことにより導電部材２０が光軸方向に前後進し平面インダクタ１９との距離が変化する。 - 特許庁

To provide an electrostatic chuck device capable of keeping constant the temperature of a focus ring during processing, stabilizing the temperature of the outer peripheral part of a planar sample, thereby uniformizing etching characteristics within a plane of the planar sample and preventing the deposition of deposit on the focus ring by adjusting the temperature of the focus ring provided so as to surround the planar sample of a silicon wafer or the like.例文帳に追加

シリコンウエハ等の板状試料を囲むように設けられたフォーカスリングの温度を調整することにより、処理中のフォーカスリングの温度を一定に保持することができ、板状試料の外周部の温度を安定化することができ、よって板状試料の面内におけるエッチング特性を均一化することができ、フォーカスリング上に堆積物が堆積するのを防止することができる静電チャック装置を提供する。 - 特許庁

To provide a very repeatable, high quality, inexpensive and reliable ring seal for sealing between two planar surfaces.例文帳に追加

２つの平らな表面間を密封するために非常に反復性があり、高品質で、安価かつ信頼し得るリング密封体を提供する。 - 特許庁

The gradient index lens 1 is structured such that SiO_2 is dug into a concentric ring shape and has a planar region near the center.例文帳に追加

また、分布屈折率レンズ１は、ＳiＯ２を同心円形状に掘り込んだ構造であり、かつ、中央付近に平面領域を有する。 - 特許庁

The planar emission part 9 extends in an angle region from 14° to 84° from a peripheral direction of the laminating ring 7a toward a radial direction when seeing from a photographing position P of the laminating ring 7a.例文帳に追加

この平面発光部９は、積層リング７ａの撮像位置Ｐから見ると、積層リング７ａの周方向から径方向に向けて１４゜から８４゜の間の角度領域に延在している。 - 特許庁

The O-ring 35 is pressed by a tapered part 27 to be enlarged in diameter and deformed and is closely adhered to the tapered part 27 and the planar member 33, and thereby a degree of freedom of the size of the O-ring 35 is increased and working accuracy is not required like an O-ring groove to suppress working cost.例文帳に追加

また、Ｏリング３５はテーパ部２７に押し付けられて拡径変形され、そのテーパ部２７と板状部材３３とに密着するので、Ｏリング３５のサイズの自由度が高まると共に、Ｏリング溝のように加工精度を要しないから、加工費も抑えられる。 - 特許庁