planarity testingとは 意味・読み方・使い方

The planarity between the surface of a testing system (20) such as a bottom face of a chuck (16) (or substrate 17) and an interface (28) or an inspection head (22) is checked before testing a substrate.例文帳に追加

チャック（１６）（または基板（１７））と、インターフェース（２８）または検査ヘッド（２２）の底面のような、試験システム（２０）の表面との間の平面性をチェックした後、基板を試験する。 - 特許庁

An apparatus of the present invention includes a probe card for testing a die on a wafer and an energy transmissive element located adjacent to the probe card at a portion of the probe card, wherein the energy transmissive element utilizes energy transmitted to selectively deflect a portion of the probe card to selectively control the geometric planarity of the probe card.例文帳に追加

本発明の装置は、ウエハ上のダイをテストするプローブカードと、前記プローブカードの一部において該プローブカードに隣接して配置されたエネルギー伝達要素とを含み、前記エネルギー伝達要素が伝達されたエネルギーを利用して前記プローブカードの一部分を選択的に撓曲させることにより前記プローブカードの幾何学的平面性を制御する。 - 特許庁