quartz boatとは 意味・読み方・使い方

The boat BT has quartz-made boat members Q11 and Q12 and quartz-made under bars (columnar rod) Q21 and Q22 as main parts of a support member substantially supporting the semiconductor wafer Waf.例文帳に追加

ボートＢＴは、石英製ボート部材Ｑ１１，Ｑ１２と半導体ウェハＷａｆを実質的に支持する支持部材の要部である石英製アンダーバー（円柱棒）Ｑ２１，Ｑ２２を有する。 - 特許庁

The pedestal 100 comprising quartz-enveloped heat insulating materials (130, 132), supports a wafer boat at a boat support level 113, and is provided with an upper section 102 disposed above the boat support level 113.例文帳に追加

石英材で囲まれた断熱材１３０、１３２を備えるペデスタル１００は、ボート支持レベル１１３でウェハボートを支持し、かつボート支持レベル１１３の上に配置された上部１０２を備えている。 - 特許庁

To provide a vertical furnace, in which a thermocouple or a quartz boat will not be damaged, even if the thermocouple is deformed thermally.例文帳に追加

熱電対装置が熱変形しても、当該熱電対装置や石英ボートを破損させることのない縦型炉を提供する。 - 特許庁

A boat base 104 introduces a boat 105 which is formed of quartz and on which a plurality of wafers WF are mounted to the inside and the outside of the inner tube 101b (load/unload).例文帳に追加

ボートベース１０４は、複数のウェハＷＦが載置される石英製のボート１０５をインナーチューブ１０１ｂの内外に導く（ロード／アンロード）。 - 特許庁

In this vertical type heat treating device 20, when a boat 21 mounting a plurality of semiconductor substrates 24 is inserted into a quartz pipe 22 to be heated by a heater 23, an N2 gas 31 is sprayed from a spraying pipe 32 provided along the boat 21.例文帳に追加

ヒータ２３によって加熱される石英管２２内に、複数の半導体基板２４を装着したボート２１を挿入する際に、ボート２１に沿って設ける吹付け管３２からＮ_2ガス３１を吹付ける。 - 特許庁

To shorten an assembling period of time without requiring correction works at the time of assembling at superior assembly precision of a quartz-made semiconductor wafer boat.例文帳に追加

石英製半導体ウェーハボートの組立精度がよく、組立時に修正作業を必要とせず、組立時間を短縮できる石英製半導体ウェーハボートの製造用治具およびこれを用いた製造方法を提供する。 - 特許庁

A boat for growth wherein a prescribed number of semiconductor wafers are arranged statically so as to face upward is dipped in Ga melt in a quartz cassette 5 whose temperature is increased up to almost 1000°C.例文帳に追加

所定数の半導体ウエハを上向きに静置した成長用ボ−トを、１０００℃程度に昇温した石英カセット内のＧａメルト中に浸漬する。 - 特許庁

Surfaces of the tube 101 (101a, 101b) and the boat 105 are previously coated with buffer films 106 in which difference of coefficients of thermal expansion to deposits generated in film forming treatment of a wafer is small as compared with that of quartz.例文帳に追加

ウェハの成膜処理で派生する堆積物と熱膨張係数の差が石英に比較して小さいバッファ膜１０６を予めチューブ１０１（１０１ａ，１０１ｂ）表面及びボート１０５表面に被覆している。 - 特許庁