quartz boatとは 意味・読み方・使い方

The boat BT has quartz-made boat members Q11 and Q12 and quartz-made under bars (columnar rod) Q21 and Q22 as main parts of a support member substantially supporting the semiconductor wafer Waf.例文帳に追加

ボートＢＴは、石英製ボート部材Ｑ１１，Ｑ１２と半導体ウェハＷａｆを実質的に支持する支持部材の要部である石英製アンダーバー（円柱棒）Ｑ２１，Ｑ２２を有する。 - 特許庁

A boat base 104 introduces a boat 105 which is formed of quartz and on which a plurality of wafers WF are mounted to the inside and the outside of the inner tube 101b (load/unload).例文帳に追加

ボートベース１０４は、複数のウェハＷＦが載置される石英製のボート１０５をインナーチューブ１０１ｂの内外に導く（ロード／アンロード）。 - 特許庁

The pedestal 100 comprising quartz-enveloped heat insulating materials (130, 132), supports a wafer boat at a boat support level 113, and is provided with an upper section 102 disposed above the boat support level 113.例文帳に追加

石英材で囲まれた断熱材１３０、１３２を備えるペデスタル１００は、ボート支持レベル１１３でウェハボートを支持し、かつボート支持レベル１１３の上に配置された上部１０２を備えている。 - 特許庁

To provide a vertical furnace, in which a thermocouple or a quartz boat will not be damaged, even if the thermocouple is deformed thermally.例文帳に追加

熱電対装置が熱変形しても、当該熱電対装置や石英ボートを破損させることのない縦型炉を提供する。 - 特許庁

In this vertical type heat treating device 20, when a boat 21 mounting a plurality of semiconductor substrates 24 is inserted into a quartz pipe 22 to be heated by a heater 23, an N2 gas 31 is sprayed from a spraying pipe 32 provided along the boat 21.例文帳に追加

ヒータ２３によって加熱される石英管２２内に、複数の半導体基板２４を装着したボート２１を挿入する際に、ボート２１に沿って設ける吹付け管３２からＮ_2ガス３１を吹付ける。 - 特許庁

A boat for growth wherein a prescribed number of semiconductor wafers are arranged statically so as to face upward is dipped in Ga melt in a quartz cassette 5 whose temperature is increased up to almost 1000°C.例文帳に追加

所定数の半導体ウエハを上向きに静置した成長用ボ−トを、１０００℃程度に昇温した石英カセット内のＧａメルト中に浸漬する。 - 特許庁

A dummy wafer 12 mounted on a wafer boat, which is used in a heat-treating unit for a semiconductor wafer, along with the wafer is formed of a material such as a quartz.例文帳に追加

半導体ウェハの熱処理装置において用いられるウェハボートに半導体ウェハと共に搭載されるダミーウェハ１２を石英等の材質で形成する。 - 特許庁

A grooved rod for supporting a wafer boat and having a groove formed by grinding with a diamond wheel is washed with shower of a surfactant having a concentration of 0.5-5 wt.% to remove the oil and fat component remaining on the surface of the quartz glass.例文帳に追加

ダイヤモンドホイールで研削して溝を形成したウエーハボートの支持溝棒を０．５〜５ｗｔ％の界面活性剤でシャワーリング洗浄し石英ガラス表面に残留した油脂分を除去した。 - 特許庁