radial line slot antennaとは 意味・読み方・使い方

The plasma is generated by introducing microwaves to a radial line slot antenna onto a substrate loaded in gastight treating atmosphere.例文帳に追加

気密な処理雰囲気内に載置された基板に対し、ラジアルラインスロットアンテナにマイクロ波を導くことによりプラズマを発生させる。 - 特許庁

A quartz plate 52 for introducing microwave, constituting a radial line slot antenna 55, is hermetically attached on a ceiling surface of a chamber 10.例文帳に追加

チャンバ１０の天井面には、ラジアルラインスロットアンテナ５５を構成するマイクロ波導入用の石英板５２が気密に取り付けられている。 - 特許庁

In the plasma deposition method, an inside of a process envelope is reduced in a pressure and microwaves are supplied to a radial line slot antenna in a pulse-like form.例文帳に追加

プラズマ成膜装置において，処理容器内を減圧し，ラジアルラインスロットアンテナからマイクロ波をパルス状に供給する。 - 特許庁

To provide a radial line slot array antenna having electrical characteristics uniform over a wide frequency band with simple configuration.例文帳に追加

簡易な構成で、広い周波数帯にわたり均一な電気的特性を有するラジアルラインスロットアレイアンテナを提供する。 - 特許庁

A mounting pedestal 3 is provided in the bottom portion of a processing container 2 of an apparatus 1 for forming a film by a plasma, and a radial line slot antenna 12 is provided in the upper portion of the apparatus 1.例文帳に追加

プラズマ成膜装置１の処理容器２内の底部に載置台３を設け，上部にラジアルラインスロットアンテナ１２を設ける。 - 特許庁

To prevent an abnormal discharge by improving the adhesion property between a slow-wave plate in a radial line slot antenna of a microwave plasma treatment system using this antenna and slot plates constituting a microwave radiation surface.例文帳に追加

ラジアルラインスロットアンテナを使ったマイクロ波プラズマ処理装置において、アンテナ中の遅波板とマイクロ波放射面を構成するスロット板との間の密着性を向上させ、異常放電を防止する。 - 特許庁

The slot 36 of a radial antenna 30, which supplies an electromagnetic field into a treatment container, is arranged on a spiral line at an interval d which is nearly N times (where N is a natural number) as large as wavelength λg of the electromagnetic field inside the radial antenna 30.例文帳に追加

処理容器内に電磁界を供給するラジアルアンテナ３０のスロット３６が、ラジアルアンテナ３０内における電磁界の波長λg の略Ｎ倍（Ｎは自然数）の間隔ｄの渦巻線上に配置されている。 - 特許庁

The microwave plasma processing apparatus 10 performs plasma processing on a substrate W by exciting gas due to the electric field energy of the microwaves emitted from a slot plate 205b of a radial line slot antenna.例文帳に追加

マイクロ波プラズマ処理装置１０は、ラジアルラインスロットアンテナのスロット板２０５ｂから放出されたマイクロ波の電界エネルギーによりガスを励起させ、基板Ｗをプラズマ処理する。 - 特許庁