reflected electronとは 意味・読み方・使い方

To reduce an erroneous signal caused by reflected electron of higher order or secondary electron which lower the detection accuracy of the reflected electron.例文帳に追加

反射電子の検出精度を低下させる高次の反射電子や高次の二次電子に起因する誤信号を低減する。 - 特許庁

By repeating this sequentially, the reflected electron image or the transmission electron image of the electron beam scanning range can be obtained.例文帳に追加

これを順次繰り返し電子線走査範囲の反射電子像または透過電子像を得ることができる。 - 特許庁

The membrane sample having no substrate is irradiated with an electron beam to measure a reflected electron image.例文帳に追加

下地の無い薄膜試料に電子線を照射して反射電子像を測定する。 - 特許庁

The reflected- electron detector cover 51 is turned by a driving device 65, reflected beams 33 passed through the reflected-electron pass holes 55b are adjusted so as to collide with a reflected-electron detector 22, and the position of a mark is confirmed.例文帳に追加

反射電子検出器カバー５１を駆動装置６５で回動し、反射電子通路孔５５ｂを通過した反射電子３３が反射電子検出器２２に当たるように調整し、マーク位置の確認を行う。 - 特許庁

To provide an electron beam irradiation device for easily detecting defects of a reflected electron detector.例文帳に追加

簡易に反射電子検出器の不良を検出できる電子ビーム照射装置を提供する。 - 特許庁

To display a composition status due to a reflected electron image in real time by the synchronous decision of gradation calculation with scanning of an electron beam, in displaying the reflected electron image.例文帳に追加

反射電子像の表示において、階調算出の判断を電子線の走査と同期して行い、反射電子像による組成状態の表示をリアルタイムで行う。 - 特許庁

The electron beam device having a radiation mechanism that generates the electron beam and radiates the same to the object and a re-reflection preventive mechanism that re-reflects the reflected electron reflected from the object in a direction different from the direction that the reflected electron beam comes in.例文帳に追加

電子線を発生し、かつ標的に照射する照射機構と、前記標的に向くところに位置し、かつ標的から反射して来る反射電子が来た方向と異なる方向に再反射する再反射防止機構とを有する電子線装置。 - 特許庁

To lessen the re-incidence of re-reflected electron on an object in an electron beam device.例文帳に追加

電子線装置において、再反射電子の標的への再入射を少なくすることを目的とする。 - 特許庁