reticle alignmentとは 意味・読み方・使い方

Then, the tool reticle is loaded onto a reticle stage RST via an exchange arm 120, and positional information of the reticle is detected by a reticle alignment system 22.例文帳に追加

そして、その工具レチクルを、交換アーム１２０を介してレチクルステージＲＳＴ上にロードして、レチクルアライメント系２２によりレチクルの位置情報を検出する。 - 特許庁

A processor determines an alignment position of the substrate or the reticle based on the alignment signal.例文帳に追加

プロセッサが、アラインメント信号に基づいて基板またはレチクルのアラインメント位置を決定する。 - 特許庁

A tool reticle is loaded onto a pre-alignment stage 110, and positional information of a mark on the tool reticle is detected by a pre-alignment system 45.例文帳に追加

工具レチクルをプリアライメントステージ１１０にロードし、プリアライメント系４５で工具レチクル上のマークの位置情報を検出する。 - 特許庁

A reticle mark formed on the reticle is measured by using a pre-alignment sensor 41 before and after the reticle is delivered from the whirling arm 40 to the reticle stage RST in the case of the first carrying of the reticle.例文帳に追加

レチクルの第１回目の搬送時には、旋回アーム４０からレチクルステージＲＳＴに受け渡される前後でプリアライメントセンサ４１を用いてレチクルに形成されたレチクルマークを計測する。 - 特許庁

By this method, fine alignment of the reticle can be carried out accurately.例文帳に追加

これにより、レチクルファインアライメントを高精度で行うことができる。 - 特許庁

To provide a reticle set for forming an alignment mark etc. by using a reticle even when the reticle is small in proper exposure quantity.例文帳に追加

適正露光量の低いレチクルであっても、当該レチクルを用いてアライメントマーク等を形成することが可能なレチクルセットを提供する。 - 特許庁

The side part of the reticle table is provided with a pair of reticle alignment optical systems 111 facing each other.例文帳に追加

また、レチクルテーブルの側部には、１対のレチクルアライメント光学系１１１が対向して設けられている。 - 特許庁

To improve a precision and throughput in alignment between a reticle and a wafer.例文帳に追加

レチクルとウエハとの位置合わせの精度及びスループットを向上させる。 - 特許庁