pre-alignmentとは 意味・読み方・使い方

Change in the pre-tilt with time is canceled between both substrates 1 and 2, by setting the one alignment layer 4 and the other alignment layer 5 in the normal pre-tilt state and the reverse pre-tilt state, respectively.例文帳に追加

一方の配向層４を正プレチルト状態にし他方の配向層５を逆プレチルト状態として、プレチルトの経時的な変化を両基板１，２の間で相殺する。 - 特許庁

The pre-alignment mark AM1 is detected by ultraviolet rays having a wavelength of 248 nm which is emitted from a pre-alignment sensor PA, while the fine alignment mark AM2 is detected by a space image sensor on a wafer stage.例文帳に追加

プリアライメントマークＡＭ１は、プリアライメントセンサＰＡから発せられる、波長が２４８ｎｍの紫外線で検出され、ファインアライメントマークＡＭ２は、ウェハステージ上の空間像センサで検出される。 - 特許庁

To control the pre-tilt angle of liquid crystal molecules to prevent unevenness of the pre-tilt angle by controlling the arrangement state of alignment layer molecules to make the state uniform.例文帳に追加

配向膜分子の配列状態を制御、均一化して、液晶分子のプレチルト角を制御しムラが発生することを防止する。 - 特許庁

A carrier robot 15 simultaneously conducts an operation receiving the substrate W1 pre-aligned by the pre-alignment device 12 by a first hand 31 and the operation delivering the substrate W2 supported and pre-aligned by a second hand 32 to the pre-alignment device 12.例文帳に追加

搬送用ロボット１５が、プリアライメント装置１２でプリアライメントされた基板Ｗ１を第１のハンド３１で受け取る動作と、第２のハンド３２に支持されたプリアライメントされる基板Ｗ２をプリアライメント装置１２に受け渡す動作と、を同時に行う。 - 特許庁

One alignment layer 4 generates a normal pre-tilt state where the liquid crystal 3 is pre-tilted on the same side as the vapor deposition direction, and the other alignment layer 5 generates a reverse pre-tilt state where the liquid crystal 3 is pre-tilted in a direction opposite to the vapor deposition direction.例文帳に追加

一方の配向層４は、蒸着方向と同じ側に液晶３がプレチルトする正プレチルト状態を生じ、他方の配向層５は、蒸着方向と反対側に液晶３がプレチルトする逆プレチルト状態を生じる。 - 特許庁

The detection system is disposed above a reticle to observe the pattern and perform pre-alignment.例文帳に追加

この検出系はレチクル上方に配置し、パターンを観察しプリアライメントを実施する。 - 特許庁

From these detection results, a deviation is calculated between the pre-alignment detection system and the RA coordinate system.例文帳に追加

そして、これらの検出結果から、プリアライメント検出系と、ＲＡ座標系とのずれを算出する。 - 特許庁

PRE-ALIGNMENT APPARATUS AND TRANSFER SYSTEM EQUIPPED WITH THE SAME, AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT例文帳に追加

プリアライナー装置、それを備えた搬送システム及び半導体製造装置 - 特許庁