rough vacuum pumpとは 意味・読み方・使い方

The rough evacuation treatment of the auxiliary vacuum chamber 3 is performed by a rough evacuation vacuum pump 6 to form the auxiliary vacuum chamber 3 in a vacuum state.例文帳に追加

副真空室３の粗引き真空排気処理を粗引真空ポンプ６により行い、副真空室３を中真空状態とする。 - 特許庁

In such an equipment, a liquid material vent line 20 is branched from the liquid material delivery line 6, and connected with a part between a high vacuum pump 13 for liquid material and the rough vacuum pump 14 for rough length.例文帳に追加

このような装置において、液体原料供給ライン６から液体原料ベントライン２０を分岐して、液体原料用高真空ポンプ１３と粗引き用低真空ポンプ１４との間に接続する。 - 特許庁

The vacuum evacuating unit 10 has a roughing pump 4 and a high vacuum pump 3 to evacuate inside the vacuum chamber, wherein one end of a rough evacuation valve 13 the other end of which is connected to the vacuum chamber 2 and a gas discharge valve 12 of the high vacuum pump 3 are connected to the suction side of the roughing pump 4.例文帳に追加

真空排気部１０は、真空チャンバ内を排気する粗引きポンプ４と高真空ポンプ３を有し、粗引きポンプ４の吸気側には、他端が真空チャンバ２に接続される粗引きバルブ１３と、高真空ポンプ３の排気側バルブ１２とが接続される。 - 特許庁

A first vacuum chamber 6 is evacuated by two pumps which are a first roughing vacuum pump 5b and a second roughing vacuum pump 14c for the rough evacuation of high vacuum pumps 10, 11.例文帳に追加

第一真空室６の排気を、第一粗引きポンプ５ｂと高真空ポンプ１０，１１の粗排気用の第二粗引きポンプ１４ｃの２台で行う。 - 特許庁

In the substrate processing equipment, liquid material 4 for treating a wafer 1 is evaporated and supplied to a treatment furnace 2 from a liquid material delivery line 6, and exhausted through a discharge line 7 with a high vacuum pump 13 for liquid material and a rough vacuum pump 14 for rough length of the downstream.例文帳に追加

基板処理装置は、ウェハ１を処理するための液体原料４を気化して液体原料供給ライン６から処理炉２に供給し、液体原料用の高真空ポンプ１３とその下流側の粗引き用の低真空ポンプ１４とにより排気ライン７を介して排気するようになっている。 - 特許庁

When the vacuum exhaust system 100 is operated, the mechanical booster pump (MBP) 9 and a rotary pump (RP) 10 are started while all valves 3, 4, 5, 6 and 8 are closed, a slow rough valve (SRV) 4 is opened after stopping the mechanical booster pump 9 once, and then the mechanical booster pump 9 is restarted.例文帳に追加

真空排気システム１００の運転時には、全バルブ３，４，５，６，８を閉じた状態でメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）９およびロータリポンプ（ＲＰ）１０を起動し、一旦メカニカルブースタポンプ９を停止してからスローラフバルブ（ＳＲＶ）４を開いた後に再びメカニカルブースタポンプ９を再起動するものである。 - 特許庁