scanning interferometerとは 意味・読み方・使い方

DETECTION POINT SCANNING METHOD BY OPTICAL INTERFEROMETER INTEGRATED DRIVING IN OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY AND OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY DEVICE例文帳に追加

光コヒーレンストモグラフィーにおける光干渉計一体駆動による検知点走査方法及び光コヒーレンストモグラフィー装置 - 特許庁

As a reticle stage is 19 moved, a reference phase cycle which is a reference for scanning exposure is generated, using an interferometer 22A.例文帳に追加

また、レチクルステージ１９の移動に伴い、干渉計２２Ａにより走査露光の基準となる基準位相周期を発生させる。 - 特許庁

The optical system of the present invention comprises any one or more of reflectometer, polarimeter, imaging, interferometer, and/or scanning angle system.例文帳に追加

本光学システムは、反射計、偏光計、画像化、干渉計、および／または走査角システムのうちの任意の１つ以上を備える。 - 特許庁

To highly accurately measure a scanning quantity of an aspherical face to be inspected without using reflected rays of light in the neighborhood of a vertex of the aspherical face to be inspected in aspherical face measurement by a scanning type interferometer.例文帳に追加

走査型干渉計による非球面測定において、被検非球面の頂点付近反射光を使用せずに被検非球面の走査量を高精度に測定する。 - 特許庁

To measure an optical path difference above wavelength with high accuracy and in real time by a sinusoidal wave-like wavelength scanning interferometer.例文帳に追加

正弦波状波長走査干渉計により波長以上の光路差を高精度で、かつ実時間で測定することができるようにする。 - 特許庁

To provide a low-coherence interferometer which improves measurement efficiency by reducing the width of the scanning range of an optical path length difference.例文帳に追加

光路長差のスキャン範囲の幅を縮小して測定の効率化を図るのに適した構成の低コヒーレンス干渉計を提供する。 - 特許庁

CANTILEVER ARRAY, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, SCANNING PROBE MICROSCOPE USING THE SAME, SLIDING DEVICE FOR GUIDE AND ROTATION MECHANISM, SENSOR, HOMODYNE LASER INTERFEROMETER, LASER DOPPLER INTERFEROMETER WITH PHOTOEXCITATION FUNCTION OF SAMPLE AND EXCITATION METHOD FOR CANTILEVER例文帳に追加

カンチレバーアレイ、その製造方法及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡、案内・回転機構の摺動装置、センサ、ホモダインレーザ干渉計、試料の光励振機能を有するレーザドップラー干渉計ならびにカンチレバーの励振方法 - 特許庁

To facilitate quick and highly-accurate shape measurement by using a simple constitution, concerning a fringe scanning interference fringe measuring method and an interferometer.例文帳に追加

フリンジスキャン干渉縞計測方法および干渉計において、簡素な構成を用いて、容易かつ高精度な形状測定を迅速に行うことができるようにする。 - 特許庁