sputter ionとは 意味・読み方・使い方

PLASMA SPUTTER TYPE MULTI-TARGET NEGATIVE ION SOURCE例文帳に追加

プラズマスパッタ型マルチターゲット負イオン源 - 特許庁

SPUTTER ION PUMP AND IMAGE DISPLAY DEVICE例文帳に追加

スパッタイオンポンプおよび画像表示装置 - 特許庁

METHOD OF PREVENTING NOISE CURRENT ORIGINATED IN SPUTTER ION PUMP例文帳に追加

スパッタイオンポンプ起因のノイズ電流防止方法 - 特許庁

VACUUM PUMPING SYSTEM EQUIPPED WITH SPUTTER ION PUMPS例文帳に追加

複数のスパッタイオンポンプを備えた真空ポンピングシステム - 特許庁

SPUTTER ION PUMP WHICH HAS IMPROVED MAGNET ASSEMBLY例文帳に追加

改良された磁石アセンブリを有するスパッタ・イオン・ポンプ - 特許庁

SUPER-HIGH EVACUATION DEVICE, EVACUATION METHOD, AND SPUTTER ION PUMP例文帳に追加

極高真空排気装置、真空排気方法、及びスパッタイオンポンプ - 特許庁

To provide an ion implanting device in which ion implantation by a large area ion beam can be carried out in a large-scale substrate, uniformity of ion beam is controllable, there is no occurring of a sputter by the ion beam, and which can prevent adverse effect by a sputter.例文帳に追加

大面積イオンビームにより大型の基板にイオン注入を行うことができ、イオンビームの均一性を制御可能であり、かつイオンビームによるスパッタの発生がなく、スパッタによる悪影響を防止することができるイオン注入装置を提供する。 - 特許庁

To provide a small sputter ion pump having high exhaust efficiency, and improved in a magnetic field shielding characteristic; and to provide an image display device equipped with a sputter ion pump.例文帳に追加

小型で排気効率が高く、磁界シールド特性の向上したスパッタイオンポンプおよびスパッタイオンポンプを備えた画像表示装置を提供する。 - 特許庁