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意味・対訳 ストロンチウム‐89
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該当件数 : 1件
A heating mechanism 77 for holding an Si wafer 75, a first inlet hole 85 for inlet first raw gas for forming a BST(barium strontium titanate) film, an exhaust vent 87 and a second inlet hole 89 for introducing second raw gas having a Ti-content higher than that of the first raw gas are provided in a reaction furnace 73 of a CVD device 71.例文帳に追加
ＣＶＤ装置７１の反応炉７３には、Ｓｉウェハ７５を保持する加熱機構７７と、ＢＳＴ膜を形成するための第１の原料ガスを導入するための第１の導入口８５と、排気口８７と、第１の原料ガスよりもＴｉ含有率の高い第２の原料ガスを導入するための第２の導入口８９とが設けられている。 - 特許庁
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