thermal probeとは 意味・読み方・使い方

The probe substrate includes a heating element which generates heat by receiving power, and the probe substrate has a thermal expansion coefficient of ≥10 ppm/°C.例文帳に追加

プローブ基板は電力を受けて発熱する発熱体を備え、プローブ基板は、１０ｐｐｍ／°Ｃ以上の熱膨張率を有する。 - 特許庁

The working position is corrected by predicting a drift of the probe position caused by thermal expansion of the cantilever 3 due to the temperature increase of the probe 1, based on the measured temperature of the probe 1.例文帳に追加

測定した探針1の温度から探針1の温度上昇によるカンチレバー3の熱膨張に起因する探針位置のドリフト量を予測し加工位置を補正する。 - 特許庁

The probe guiding member has a thermal conductivity of 70 W/mK or higher, a thermal expansion coefficient of 2.5-3.5 ppm/K, and a shore hardness of 45-58.例文帳に追加

熱伝導率７０Ｗ／ｍＫ以上、熱膨張係数２．５〜３．５ｐｐｍ／Ｋ、ショア硬度４５〜５８であるプローブ案内部材。 - 特許庁

To provide a semiconductor inspection apparatus using a probe card and capable of reducing the amount of thermal deformation of the probe card itself, suppressing mechanical deformations such as bending, and improving probe test accuracy.例文帳に追加

プローブカードそのものの熱変形量を少なくし、撓みなどの機械的変形を抑制しプローブテストの精度を向上し得るプローブカードを使用する半導体検査装置を提供する。 - 特許庁

It is advantageous that the receptacle is extendedly formed by a thermal probe heading toward a core part of the apparatus.例文帳に追加

レセプタクルは装置のコア部に向かう熱プローブによって延長形成されるのが有利である。 - 特許庁

In an ultrasonic probe, a heat conductive material 7 having a high thermal conductivity is provided between a piezoelectric element 1 and a back loading material 6.例文帳に追加

圧電素子１と背面負荷材６の間に高熱伝導率の熱伝導材７を設けた。 - 特許庁

To stably secure contact between a wafer and a probe by suppressing thermal expansion of a contactor in the thickness direction.例文帳に追加

コンタクタの厚み方向の熱膨張を抑制し，ウェハとプローブとの接触を安定的に確保する。 - 特許庁

To provide a probe guiding member which has high thermal conductivity and excellent precision workability and is used for inspection of a semiconductor element exhibiting thermal expansion close to that of silicon.例文帳に追加

高熱伝導性で、優れた精密加工性を持ち、シリコンに近い熱膨張を示す半導体素子の検査に用いるプローブ案内部材を提供する。 - 特許庁