thermochemical processとは 意味・読み方・使い方

In a specified semiconductor manufacturing process utilizing a thermochemical reaction, the semiconductor manufacturing process is started, based on prescribed process executing initial settings, the condition of the atmosphere in a specified system being in progress of the thermochemical reaction and its change are measured and analyzed at specified time intervals and the analysis result is fed back to the semiconductor manufacturing process.例文帳に追加

熱化学反応を利用する所定の半導体製造プロセスを行う際に、予め設定されたプロセス実行初期設定に基づいて半導体製造プロセスを開始するとともに、熱化学反応が進行している所定の系の雰囲気の状態とその変化を所定の時間間隔で測定および解析し、この解析した結果を半導体製造プロセスにフィードバックする。 - 特許庁

In the manufacturing process of a semiconductor device, a method is indicated, where the method includes a step for exposing the surface of the substrate to a rapid thermochemical vapor deposition(RTCVD).例文帳に追加

半導体デバイスの製造プロセスにおいて、基板の表面を、窒化膜を形成する急速熱化学蒸着（ＲＴＣＶＤ）プロセスに暴露する段階を含む方法を示す。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a semiconductor device, which conducts semiconductor manufacturing process utilizing a thermochemical reaction in a proper condition, irrespective of the atmospheric conditions.例文帳に追加

熱化学反応を利用する半導体製造プロセスを、雰囲気の状態に拘らず適正な状態で遂行できる半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide such a method and apparatus for decomposing hydrogen iodide as can increase an efficiency in the decomposition of hydrogen iodide at a time of manufacturing the hydrogen by a thermochemical process.例文帳に追加

熱化学法により水素を製造する際にヨウ化水素の分解効率を高めることができるヨウ化水素分解方法およびヨウ化水素分解装置を提供する。 - 特許庁

To provide an apparatus and a method for producing hydrogen by a thermochemical process, in each of which hydrogen can be efficiently produced by cleaning/recovering iodine stuck to the inner wall of a vessel.例文帳に追加

容器の内壁に付着したヨウ素が洗浄され回収されて効率的な水素製造を可能とする熱化学法による水素製造装置及びその装置を提供する。 - 特許庁

To provide a Bunsen reactor which separates and takes out an acid formed by a Bunsen reaction without using another equipment or step for acid separation in a thermochemical hydrogen production process.例文帳に追加

熱化学水素製造プロセスにおいて、酸分離のための別の設備・工程を用いることなく、ブンゼン反応により生成された酸を連続的に分離して抜き出すことを課題とする。 - 特許庁

To provide a combined hydrogen production apparatus capable of improving thermal efficiency by recovering heat exhausted from IS (Iodine-Sulfur) process-based thermochemical hydrogen production system thereby contributing further to hydrogen production.例文帳に追加

ＩＳ法による熱化学的水素製造システムから排出される熱を回収してさらに水素生成に寄与することにより、熱効率を改善することのできるコンバインド水素製造装置を提供する。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing the master disk of an optical disk capable of transferring a concave/convex pattern, which is formed on an inorganic resist layer by use of a thermochemical reaction, to a stamper without causing a minute concave defect in a surface by an electroforming process.例文帳に追加

熱化学反応を利用して無機レジスト層に形成された凹凸パターンを、電鋳処理により、表面に微小な陥没状の欠陥を生じさせることなく、スタンパに転写可能な光ディスク原盤の製造方法を提供する。 - 特許庁