tungsten contactとは 意味・読み方・使い方

A polysilicon sidewall 5 makes tight contact with the tungsten nitride 6b on the side of the tungsten 6c.例文帳に追加

タングステン６ｃの側面にある窒化タングステン６ｂにはポリシリコンサイドウォール５を密着させる。 - 特許庁

After that, a tungsten plug 7 is buried in the contact hole 3 using a blanket tungsten CVD method.例文帳に追加

その後、ブランケットタングステンＣＶＤ法を用いて、コンタクトホール３内にタングステンプラグ７を埋め込む。 - 特許庁

After that, a second tungsten film 16 is formed with the first tungsten film 15 as a seed layer, and the contact hole 12a is filled.例文帳に追加

その後、第１のタングステン膜１５をシード層として第２のタングステン膜１６を形成し、コンタクトホール１２ａを埋め込む。 - 特許庁

Tungsten is deposited in the remaining space in a contact hole to form a tungsten plug 84.例文帳に追加

コンタクトホールの残存するスペースにタングステンを堆積してタングステンプラグ８４を形成する。 - 特許庁

A tungsten plug 48 is formed in a contact hole 46 by depositing a tungsten film 60 on a silicon oxide film 44 and etching back the tungsten film.例文帳に追加

シリコン酸化膜４４にタングステン膜６０を堆積し、これをエッチバックして、コンタクトホール４６内にタングステンプラグ４８が形成される。 - 特許庁

To lower the contact resistance between an interconnect part and a transfer electrode without using aluminum or tungsten.例文帳に追加

アルミニウムやタングステンを用いることなく、配線部と転送電極とのコンタクト抵抗を下げる。 - 特許庁

Combination flame of a Brown's gas is brought into contact with tungsten chips under the water.例文帳に追加

ブラウンガスの燃焼火炎を水中においてタングステン片に接触させる。 - 特許庁

To prevent a decrease in the contact area of an active region with a tungsten plug.例文帳に追加

活性領域とタングステンプラグとの接触面積の低下を防止する。 - 特許庁