turbomolecularとは 意味・読み方・使い方

To provide a method and an apparatus for cleaning a semiconductor wafer processing system having a turbomolecular pump.例文帳に追加

ターボ分子ポンプを備えた半導体ウエーハ処理システムの洗浄方法と装置 - 特許庁

Then, the turbomolecular pump compresses the fluid to a pressure for evacuating the chamber by a roughing pump.例文帳に追加

続いて軸流分子ポンプが、荒引きポンプにより排気するための圧力に流体を圧縮する。 - 特許庁

To provide an ultra high-speed vacuum pump evacuation system having a first stage ultra-high speed turbofan and a conventional second stage turbomolecular pump.例文帳に追加

第一段の超高速ターボファンと第二段の従来形軸流分子ポンプとを含んだ超高速真空ポンプ排気装置を提供する。 - 特許庁

The conventional second stage turbomolecular pump 18 is hydraulically connected to the downstream side of the first stage turbofan.例文帳に追加

第二段の従来形軸流分子ポンプ１８は、第一段のターボファンの下流側に流体的に接続されている。 - 特許庁

The vacuum pump, especially the turbomolecular pump or multi-inlet pump, includes the rotor shaft 12 supporting at least one rotor means 14.例文帳に追加

真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプ又は複数入口式ポンプが、少なくとも１つのロータ手段14を支持するロータ軸12を備えている。 - 特許庁

To provide a vacuum pump, especially a turbomolecular pump or a multi-inlet pump, having a long rotor shaft.例文帳に追加

ロータ軸の長さが長い真空ポンプ、特にはターボ分子ポンプ又は複数入口式ポンプを提供する。 - 特許庁

To provide a turbomolecular pump improved in efficiency when fixed blades and rotary blades are cooled or heated.例文帳に追加

固定翼や回転翼を冷却または加熱する際の効率を向上させることができるターボ分子ポンプの提供。 - 特許庁

To provide a vacuum pump system achieving continuous operation of a dry vacuum pump until a turbomolecular pump is stopped when disconnecting the power supply of the vacuum pump system with the dry vacuum pump and the turbomolecular pump connected on the same power supply line.例文帳に追加

ドライ真空ポンプとターボ分子ポンプが同一電源ライン上に接続された真空ポンプシステムの電源遮断の場合に、ターボ分子ポンプが停止するまで、ドライ真空ポンプが継続して運転できる真空ポンプシステムを提供すること。 - 特許庁