universal chuckとは 意味・読み方・使い方

universal chuck発音を聞く 例文帳に追加

万能チャック - 日本語WordNet

UNIVERSAL CHUCK例文帳に追加

ユニバーサルチャック - 特許庁

WAFER-MOUNTING PLATE FOR UNIVERSAL CHUCK例文帳に追加

ユニバ−サルチャック用ウエハ取付板 - 特許庁

WAFER ATTACHING PLATE FOR UNIVERSAL CHUCK AND ITS MANUFACTURE例文帳に追加

ユニバ−サルチャック用ウエハ取付板およびその製造方法 - 特許庁

To provide a method of polishing a semiconductor wafer which can prevent a suction mark from remaining on a semiconductor wafer due to difference of material between a permeable chuck plate and an unpermeable partition member in a universal chuck having a partition member.例文帳に追加

仕切部材を有するユニバーサルチックにおいて、通気性のチャックプレートと不通気性の仕切り部材との材質の違いから、半導体ウエハに吸着痕が残ることを防止できる半導体ウエハの研磨方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method of polishing a semiconductor wafer which can prevent clogging due to vacuum occurring in a chuck plate on the outer periphery of a semiconductor wafer when a small size semiconductor wafer is processed in a universal chuck having a partition member.例文帳に追加

仕切部材を有するユニバーサルチックにおいて、小さいサイズの半導体ウエハを加工する場合に半導体ウエハの外周辺のチャックプレートに発生するバキュームによる目詰まりを防止できる半導体ウエハの研磨方法を提供する。 - 特許庁

To provide a universal chucking mechanism for wafers, which can be used commonly to semiconductor wafers of different diameters to vacuum chuck and cut or polish the wafers.例文帳に追加

半導体ウエハをバキューム吸着して研削または研磨するのに用いる径の異なる半導体ウエハに共通して使用可能なウエハのユニバーサルチャック機構の提供。 - 特許庁